[实用新型]一种气缸及反应室有效
| 申请号： | 201721149970.3 | 申请日： | 2017-09-08 |
| 公开（公告）号： | CN207633929U | 公开（公告）日： | 2018-07-20 |
| 发明（设计）人： | 龙俊舟;王宇 | 申请（专利权）人： | 武汉新芯集成电路制造有限公司 |
| 主分类号： | E05F15/50 | 分类号： | E05F15/50 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 俞涤炯 |
| 地址： | 430205 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种气缸及反应室，属于半导体制造技术领域，适用于驱动反应室的内门的开闭，所述反应室包括具有内衬的室壁和在硅片传输口设置的反应室门，所述气缸包括气缸本体和一气压调节装置，所述气压调节装置设置于所述气缸本体的进气端口上；所述气缸本体的活塞杆连接所述反应室门。上述技术方案的有益效果是：通过在气缸的进气端口上设置一压力调节装置，调节气缸的进气气压，避免因动作瞬间压力过大导致气缸损坏，从而避免因反应室门打不开造成的产品报废；同延长气缸的使用寿命，降低设备的维护成本。 | ||
| 搜索关键词： | 气缸 反应室 反应室门 气缸本体 气压调节装置 进气端口 半导体制造技术 压力调节装置 本实用新型 活塞杆连接 产品报废 硅片传输 降低设备 进气气压 使用寿命 开闭 内衬 内门 室壁 驱动 维护 | ||
【主权项】：
1.一种气缸，适用于驱动反应室的反应室门的开闭，所述反应室包括具有内衬的室壁和在硅片传输口设置的反应室门，其特征在于，所述气缸包括气缸本体和一气压调节装置，所述气压调节装置设置于所述气缸本体的进气端口上；所述气缸本体的活塞杆连接所述反应室门。
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