[实用新型]一种气缸及反应室

权利要求书

1.一种气缸，适用于驱动反应室的反应室门的开闭，所述反应室包括具有内衬的室壁和在硅片传输口设置的反应室门，其特征在于，所述气缸包括气缸本体和一气压调节装置，所述气压调节装置设置于所述气缸本体的进气端口上；

所述气缸本体的活塞杆连接所述反应室门。

2.如权利要求1所述的气缸，基特征在于，所述气压调节装置包括：

壳体，所述壳体上设置有进气口、出气口、进气通道和出气通道，所述进气口连接进气通道，所述出气口连接出气通道；

螺旋手柄，所述螺旋手柄的螺杆从所述壳体的上方伸入至所述壳体内；

膜片，设置于所述壳体内，并于所述膜片和所述螺杆之间连接一第一弹簧，所述膜片与所述壳体的下端构成一腔体，所述出气通道与所述腔体连通；

第一活塞，设置于所述壳体的下端，所述第一活塞通过一压杆连接于所述膜片上，并于所述第一活塞未连接所述压杆的一面连接一第二弹簧，所述第一活塞可控制所述进气通道与所述腔体的导通。

3.如权利要求2所述的气缸，其特征在于，所述气压调节装置还包括泄压腔，设置于所述壳体的侧壁上，所述泄压腔上设置泄压口；

于所述泄压腔内设置一连接有第三弹簧的第二活塞，所述第二活塞设置于所述泄压腔朝向所述壳体的一端内；

所述第一活塞可控制所述泄压腔与所述腔体的导通。

4.如权利要求1所述的气缸，其特征在于，所述气压调节装置的压力调节范围80～110psi。

5.如权利要求2所述的气缸，其特征在于，还包括一气压表，设置于所述气压调节装置的出气口上。

6.一种反应室，其特征在于，包括如权利要求1-5中任一所述的气缸。