[实用新型]一种硅太阳能电池湿法刻蚀水洗装置有效
| 申请号： | 201721147498.X | 申请日： | 2017-09-08 |
| 公开（公告）号： | CN207183226U | 公开（公告）日： | 2018-04-03 |
| 发明（设计）人： | 刘小军;王正华 | 申请（专利权）人： | 安徽越众光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L31/18 |
| 代理公司： | 南京知识律师事务所32207 | 代理人： | 蒋海军 |
| 地址： | 243000 安徽省马鞍山市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种硅太阳能电池湿法刻蚀水洗装置，属于湿法刻蚀技术领域。本实用新型的一种硅太阳能电池湿法刻蚀水洗装置，包括水洗槽，水洗槽内设有传送装置，所述水洗槽内设有喷淋装置，该喷淋装置包括外围喷淋装置和内循环喷淋装置，其中外围喷淋装置通过第一喷淋进水管直接与外围供水总管相连，内循环喷淋装置通过第二喷淋进水管与储水箱相连，且该储水箱与水洗槽之间通过回水管相连。采用本实用新型的水洗装置能够显著改善硅片的水洗效果，延长循环水的使用寿命，并减小对后续碱洗液的污染。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 太阳能电池 湿法 刻蚀 水洗 装置 | ||
【主权项】：
一种硅太阳能电池湿法刻蚀水洗装置，包括水洗槽(2)，水洗槽(2)内设有传送装置(4)，其特征在于：所述水洗槽(2)内设有喷淋装置，该喷淋装置包括外围喷淋装置和内循环喷淋装置，其中外围喷淋装置通过第一喷淋进水管(8)直接与外围供水总管(7)相连，内循环喷淋装置通过第二喷淋进水管(14)与储水箱(12)相连，且该储水箱(12)与水洗槽(2)之间通过回水管(15)相连。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
