[实用新型]超薄多晶硅片切片机中的尾气净化装置

摘要

本实用新型提供了一种超薄多晶硅片切片机中的尾气净化装置，属于多晶硅片加工领域。本超薄多晶硅片切片机中的尾气净化装置，包括壳体，壳体包括顶壁、底壁和侧壁，壳体顶壁上开设有与空腔相通的进气口，壳体的上表面竖直固定有安装环一和安装环二，安装环一的内壁上固定有负压风机，安装环一上连接有进气管；壳体侧壁上周向等间距开设有出气口，出气口靠近侧壁内壁处均设有活性炭层，顶壁上竖直开设有插孔，所述的插孔均与出气口对应相通，出气口靠近侧壁外壁处均设有出气挡板，出气挡板上开设有的出气孔，底板上还设置有移动机构。本实用新型结构简单，使用灵活性强的优点。

主权项

一种超薄多晶硅片切片机中的尾气净化装置，包括呈圆柱形壳体，其特征在于，所述的壳体包括顶壁、底壁和侧壁，所述的壳体具有空腔，壳体顶壁上开设有与空腔相通的进气口，所述的壳体的上表面竖直固定有安装环一和安装环二，安装环一固定在出气口的内壁上，所述的安装环一的内壁上固定有负压风机，所述的安装环一上连接有进气管；所述的壳体侧壁上周向等间距开设有若干出气口，出气口靠近侧壁内壁处均设有活性炭层，所述的顶壁上竖直开设有若干插孔，所述的插孔均与出气口对应相通，且插孔的宽度均与活性炭层的宽度相等，所述的出气口靠近侧壁外壁处均设有出气挡板，出气挡板上开设有的出气孔，所述的底壁上还设置有移动机构。