[实用新型]超薄多晶硅片切片机中的尾气净化装置

说明书

技术领域

本实用新型属于多晶硅片加工领域，涉及一种尾气净化装置，特别是一种超薄多晶硅片切片机中的尾气净化装置。

背景技术

多晶硅片，是单质硅的一种形态，熔融的单质硅在过冷条件下凝固时，硅原子以金刚石晶格形态排列成许多晶核，如这些晶核长成晶面取向不同的晶粒，则这些晶粒结合起来，就结晶成多晶硅。由于在对超薄多晶硅片加工的车间通风性差，从而对于车间内的操作员的健康产生一定的影响。

由于存在上述的问题，经检索，如中国专利文献公开了一种印刷车间空气净化装置【专利号：ZL201520182532.1；授权公告号：CN204485580U】。这种印刷车间空气净化装置，包括空气净化系统、若干个送风管道和若干个回风管道，空气净化系统设置于印刷车间的外部，若干个进风管道的送风口设置于印刷车间的上部，若干个回风管道的回风口设置于印刷车间的下部；空气净化系统包括送风空气净化器和回风空气净化器，送风空气净化器内依次包括第一初过滤层、第一电子净化过滤层、膜净化过滤层、加湿部，回风空气净化器内依次包括第二初过滤层、第二电子净化过滤层；送风管道与送风空气净化器的出口部连接，回风管道与回风空气净化器的进口部连接。

但是，这种印刷车间空气净化装置结构复杂，大大增加了成本，且对于大空间的车间来说净化效果差，区域针对性差。

发明内容

本实用新型的目的是针对现有的技术存在上述问题，提出了一种超薄多晶硅片切片机中的尾气净化装置，本超薄多晶硅片切片机中的尾气净化装置结构简单，使用灵活性强的特点。

本实用新型的目的可通过下列技术方案来实现：

一种超薄多晶硅片切片机中的尾气净化装置，包括呈圆柱形壳体，其特征在于，所述的壳体包括顶壁、底壁和侧壁，所述的壳体具有空腔，壳体顶壁上开设有与空腔相通的进气口，所述的壳体的上表面竖直固定有安装环一和安装环二，安装环一固定在出气口的内壁上，所述的安装环一的内壁上固定有负压风机，所述的安装环一上连接有进气管；所述的壳体侧壁上周向等间距开设有若干出气口，出气口靠近侧壁内壁处均设有活性炭层，所述的顶壁上竖直开设有若干插孔，所述的插孔均与出气口对应相通，且插孔的宽度均与活性炭层的宽度相等，所述的出气口靠近侧壁外壁处均设有出气挡板，出气挡板上开设有的出气孔，所述的底壁上还设置有移动机构。

通过移动机构能够更加灵活的对整个尾气净化装置进行位置的调节，从而能够更好的将尾气净化装置搬移动到工作中的切片机附近，使安装环一上进气管另一端更好的与切片机相连接；启动负压风机，从而能够将切片机工作环境中的有害的异味气体抽入到壳体空腔内，经过活性炭层净化后，再由出气挡板的出气孔散发出去，同时，活性炭层均通过插孔插设到出气口，从而便于对活性炭层进行替换清理。

在上述超薄多晶硅片切片机中的尾气净化装置中，所述的移动机构包括转动设置在底壁上的转轴一、转轴二、转轴三和转轴四，所述的转轴一上固定有轮轴一和轮轴二，轮轴一和轮轴二交错垂直，转轴二上固定有轮轴三和轮轴四，轮轴三和轮轴四交错垂直，转轴三上固定有轮轴五和轮轴六，轮轴五和轮轴六交错垂直，转轴四上固定有轮轴七和轮轴八，轮轴七和轮轴八交错垂直，所述的轮轴一、轮轴二、轮轴三、轮轴四、轮轴五、轮轴六、轮轴七和轮轴八的两端均转动设有轮子。转轴一上的轮轴一和轮轴二交错垂直，转轴二上的轮轴三和轮轴四交错垂直，转轴三上的轮轴五和轮轴六交错垂直，转轴四上的轮轴七和轮轴八交错垂直，且转轴一、转轴二、转轴三和转轴四又能够转动，从而能够更灵活的使轮轴一、轮轴二、轮轴三、轮轴四、轮轴五、轮轴六、轮轴七和轮轴八上的轮子转动，实现尾气净化装置相对底面水平移动。

在上述超薄多晶硅片切片机中的尾气净化装置中，所述的轮轴一、轮轴二、轮轴三、轮轴四、轮轴五、轮轴六、轮轴七和轮轴八的两端均固定有轴承，所述的轮子与轴承内圈之间均固定有弹簧挡圈。弹簧挡圈主要起到限制轮子相对对应的轮轴一、轮轴二、轮轴三、轮轴四、轮轴五、轮轴六、轮轴七和轮轴八发生轴向移动。

在上述超薄多晶硅片切片机中的尾气净化装置中，所述的底壁的下表面固定有轴承座一、轴承座二、轴承座三、轴承座四、轴承座五、轴承座六、轴承座七和轴承座八，转轴一转动设置在轴承座一和轴承座二之间，转轴二转动设置在轴承座三和轴承座四之间，转轴三转动设置在轴承座五和轴承座六之间，转轴四转动设置在轴承座七和轴承座八之间，相邻转轴一、转轴二、转轴三和转轴四之间的夹角为均90度。