[实用新型]超薄多晶硅片切片机中的尾气净化装置

权利要求书

1.一种超薄多晶硅片切片机中的尾气净化装置，包括呈圆柱形壳体，其特征在于，所述的壳体包括顶壁、底壁和侧壁，所述的壳体具有空腔，壳体顶壁上开设有与空腔相通的进气口，所述的壳体的上表面竖直固定有安装环一和安装环二，安装环一固定在出气口的内壁上，所述的安装环一的内壁上固定有负压风机，所述的安装环一上连接有进气管；所述的壳体侧壁上周向等间距开设有若干出气口，出气口靠近侧壁内壁处均设有活性炭层，所述的顶壁上竖直开设有若干插孔，所述的插孔均与出气口对应相通，且插孔的宽度均与活性炭层的宽度相等，所述的出气口靠近侧壁外壁处均设有出气挡板，出气挡板上开设有的出气孔，所述的底壁上还设置有移动机构。

2.根据权利要求1所述的超薄多晶硅片切片机中的尾气净化装置，其特征在于，所述的移动机构包括转动设置在底壁上的转轴一、转轴二、转轴三和转轴四，所述的转轴一上固定有轮轴一和轮轴二，轮轴一和轮轴二交错垂直，转轴二上固定有轮轴三和轮轴四，轮轴三和轮轴四交错垂直，转轴三上固定有轮轴五和轮轴六，轮轴五和轮轴六交错垂直，转轴四上固定有轮轴七和轮轴八，轮轴七和轮轴八交错垂直，所述的轮轴一、轮轴二、轮轴三、轮轴四、轮轴五、轮轴六、轮轴七和轮轴八的两端均转动设有轮子。

3.根据权利要求2所述的超薄多晶硅片切片机中的尾气净化装置，其特征在于，所述的轮轴一、轮轴二、轮轴三、轮轴四、轮轴五、轮轴六、轮轴七和轮轴八的两端均固定有轴承，所述的轮子与轴承内圈之间均固定有弹簧挡圈。

4.根据权利要求2所述的超薄多晶硅片切片机中的尾气净化装置，其特征在于，所述的底壁的下表面固定有轴承座一、轴承座二、轴承座三、轴承座四、轴承座五、轴承座六、轴承座七和轴承座八，转轴一转动设置在轴承座一和轴承座二之间，转轴二转动设置在轴承座三和轴承座四之间，转轴三转动设置在轴承座五和轴承座六之间，转轴四转动设置在轴承座七和轴承座八之间，相邻转轴一、转轴二、转轴三和转轴四之间的夹角为均90度。

5.根据权利要求1所述的超薄多晶硅片切片机中的尾气净化装置，其特征在于，所述的出气挡板均与对应出气口相匹配，且出气挡板外壁上套设有密封橡胶套。

6.根据权利要求1所述的超薄多晶硅片切片机中的尾气净化装置，其特征在于，所述的安装环一朝向安装环二的一侧壁上开设有外螺纹，所述的进气管内壁上开设有与外螺纹相匹配的内螺纹。

7.根据权利要求1所述的超薄多晶硅片切片机中的尾气净化装置，其特征在于，所述的安装环一位于安装环二内，安装环二的外径等于壳体的外径。