[实用新型]纳米光栅微机械陀螺有效
| 申请号： | 201721084969.7 | 申请日： | 2017-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN207197535U | 公开（公告）日： | 2018-04-06 |
| 发明（设计）人： | 李孟委;耿浩;梁洲鑫;吴倩楠;李秀源 | 申请（专利权）人： | 中北大学 |
| 主分类号： | G01C19/5733 | 分类号： | G01C19/5733 |
| 代理公司： | 深圳市兴科达知识产权代理有限公司44260 | 代理人： | 杨小东 |
| 地址： | 030051*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 一种纳米光栅微机械陀螺，主要结构由上基板、键合框体、下基板、支撑框体、外质量块、内质量块、驱动机构、检测机构、动光栅、驱动磁体、检测磁体、定光栅组成,上基板设置支撑框体、内质量块、外质量块、驱动机构、检测机构、内质量块中央设有可动光栅，键合框体体固定连接下基板和上基板，下基板上对称设置驱动磁体、检测磁体、定光栅，下基板中央设有固定光栅，此装置整体结构对称，利用光学效应检测微弱柯式力，检测精度高，结构合理、紧凑，且具有灵敏度高、可靠性好的优势，其检测精度比现有技术提高一到两个数量级。 | ||
| 搜索关键词： | 纳米 光栅 微机 陀螺 | ||
【主权项】：
纳米光栅微机械陀螺，其特征在于，所述微机械陀螺包括：上基板，所述上基板中心位置处布置有动光栅；键合框体；下基板，所述下基板通过键合框体与所述上基板粘结牢固，所述下基板对应动光栅位置处布置有定光栅。
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