[实用新型]太阳能电池硅片湿法清洗设备有效
申请号: | 201721008647.4 | 申请日: | 2017-08-11 |
公开(公告)号: | CN207217481U | 公开(公告)日: | 2018-04-10 |
发明(设计)人: | 戴国健 | 申请(专利权)人: | 常州市杰洋精密机械有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L31/18 |
代理公司: | 常州市英诺创信专利代理事务所(普通合伙)32258 | 代理人: | 郑云 |
地址: | 213000 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种太阳能电池硅片湿法清洗设备,包括矩形的框体,所述框体正面安装有四角端具有过渡圆弧的矩形板,框体顶部两侧连接有前顶盖板和后顶盖板,矩形板侧的框体端部为上下料区,框体前部为前操作区,框体后部对应为后操作区,前顶盖板下面为电气安装区,后顶盖板下方为管道安装区,前顶盖板和后顶盖板之间形成抽风系统安装区,框体内设有运动系统安装区、清洗作业区,清洗作业区下方为排水系统安装区。本实用新型对清洗设备的各功能分区进行合理布局,极大地方便了硅片清洗作业过程的操作与监控,同时框架周边矩形四角带圆弧设计,提升了设备的工业美学品位,视觉效果很好,使设备更具市场竞争力。 | ||
搜索关键词: | 太阳能电池 硅片 湿法 清洗 设备 | ||
【主权项】:
一种太阳能电池硅片湿法清洗设备,包括矩形的框体(1),其特征是:所述的框体(1)正面安装有四角端具有过渡圆弧的矩形板(2),框体(1)顶部两侧连接有前顶盖板(3)和后顶盖板(4),矩形板(2)侧的框体(1)端部为上下料区(5),框体(1)前部为前操作区(6),框体(1)后部对应为后操作区(8),前顶盖板(3)下面为电气安装区(9),后顶盖板(4)下方为管道安装区(10),前顶盖板(3)和后顶盖板(4)之间形成抽风系统安装区(11),框体(1)内设有运动系统安装区(12)、清洗作业区(13),清洗作业区(13)下方为排水系统安装区(14)。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造