[实用新型]掩膜板有效
| 申请号： | 201720932459.4 | 申请日： | 2017-07-28 |
| 公开（公告）号： | CN207009484U | 公开（公告）日： | 2018-02-13 |
| 发明（设计）人： | 安乐平;李高敏;郝力强;刘宏俊 | 申请（专利权）人： | 昆山维信诺科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L51/56 | 分类号： | H01L51/56 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司44224 | 代理人： | 唐清凯 |
| 地址： | 215300 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种掩膜板，用于基板上OLED器件的制备，所述基板上设置有器件区和设置于所述器件区至少一侧的电极引线区，所述器件区用于设置所述OLED器件，所述电极引线区用于设置与所述OLED器件的电极电连接的电极引线层，所述掩膜板沿其厚度方向设置有相互连接的第一开口和第二开口，所述第一开口与所述器件区相对应，所述第二开口大于所述第一开口，且与所述第一开口共同形成台阶面，所述台阶面能够覆盖所述电极引线区，所述第二开口的深度大于所述电极引线层的厚度。本实用新型提供的掩膜板，不会蹭伤电极引线层，大大提高了OLED制备的良率。 | ||
| 搜索关键词： | 掩膜板 | ||
【主权项】：
一种掩膜板，用于基板上OLED器件的制备，所述基板上设置有器件区和设置于所述器件区至少一侧的电极引线区，所述器件区用于设置所述OLED器件，所述电极引线区用于设置与所述OLED器件的电极电连接的电极引线层，其特征在于，所述掩膜板沿其厚度方向设置有相互连接的第一开口和第二开口，所述第一开口与所述器件区相对应，所述第二开口的面积大于所述第一开口且覆盖所述第一开口，所述第二开口与所述第一开口共同形成台阶面，所述台阶面能够覆盖所述电极引线区，所述第二开口的深度大于所述电极引线层的厚度。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件；专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
H01L51-05 .专门适用于整流、放大、振荡或切换且并具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的；具有至少一个电位跃变势垒或表面势垒的电容器或电阻器
H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射；专门适用于将这些辐射能转换为电能，或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的，如有机发光二极管
H01L51-52 ..器件的零部件
H01L51-54 .. 材料选择
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件；专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
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