[实用新型]掩膜板

权利要求书

1.一种掩膜板，用于基板上OLED器件的制备，所述基板上设置有器件区和设置于所述器件区至少一侧的电极引线区，所述器件区用于设置所述OLED器件，所述电极引线区用于设置与所述OLED器件的电极电连接的电极引线层，其特征在于，

所述掩膜板沿其厚度方向设置有相互连接的第一开口和第二开口，所述第一开口与所述器件区相对应，所述第二开口的面积大于所述第一开口且覆盖所述第一开口，所述第二开口与所述第一开口共同形成台阶面，所述台阶面能够覆盖所述电极引线区，所述第二开口的深度大于所述电极引线层的厚度。

2.根据权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述第一开口的深度等于或小于所述掩膜板厚度的1/2。

3.根据权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述台阶面的形状与所述电极引线区的形状相同。

4.根据权利要求3所述的掩膜板，其特征在于，所述台阶面的尺寸与所述电极引线区的尺寸相同。

5.根据权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述器件区相对的两侧分别设置有所述电极引线区，所述第二开口与所述第一开口在所述相对的两侧分别形成所述台阶面。

6.根据权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述基板上设置有多个所述器件区，每一所述器件区的至少一侧均设置有所述电极引线区，所述掩膜板上设置有多个所述相互连接的第一开口和第二开口。

7.根据权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述台阶面用于与所述基板形成一用于容纳所述电极引线层的容纳腔。

8.根据权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述掩膜板设置有所述第二开口的一面用于与所述基板接触。