[实用新型]一种小型圆片石英舟

摘要

本实用新型涉及一种小型圆片石英舟，包括前后平行设置的底槽棒，底杆外侧斜上方设有侧槽棒，侧槽棒与底槽棒平行，底槽棒与其同侧的侧槽棒之间通过连接板连接，底槽棒之间连接有底杆，底槽棒顶部设有便于硅片插入的底卡槽，侧槽棒内侧设有内卡槽，连接板外侧设有承载柱，侧槽棒外侧设有便于取放的取放管，取放管与侧槽棒平行，连接板外侧设有沿连接板长度方向延伸的筋条，承载柱截面为椭圆形，承载柱长轴端与连接板连接。本实用新型通过截面为弧形的承载柱放置在托架上，承载柱与连接板焊接位置填充物小，敢接容易，应力小，焊接时精度易于控制，强度高。

主权项

一种小型圆片石英舟，其特征在于，包括前后平行设置的底槽棒，所述底槽棒之间连接有底杆，所述底杆外侧斜上方设有侧槽棒，所述侧槽棒与所述底槽棒平行，所述底槽棒与其同侧的侧槽棒之间通过连接板连接，所述底槽棒顶部设有便于硅片插入的底卡槽，所述侧槽棒内侧设有内卡槽，所述连接板外侧设有承载柱，所述侧槽棒外侧设有便于取放的取放管，所述取放管与所述侧槽棒平行，所述连接板外侧设有沿所述连接板长度方向延伸的筋条，所述承载柱截面为椭圆形，所述承载柱长轴端与所述连接板连接。