[实用新型]一种小型圆片石英舟

说明书

技术领域

本实用新型涉及石英舟，特别涉及一种小型圆片石英舟。

背景技术

石英舟广泛应用于半导体制造工业，尤其在太阳能、分立器件芯片制造的扩散工艺上使用较为广泛，石英舟的作用是用来装置硅片，然后将其安装在炉管的桨上，由桨推入炉管内部进行掺杂及扩散工艺。现有圆片通常通过整体式石英舟进行装载，对于某些特殊场合采用小型的石英舟装载后放置在石英托架上，此种石英舟通常采用弧形板和槽板简单焊接后使用，用于此种舟通常长度较短，在装载圆片后极易倾翻，且与托架连接处采用截面为圆形的石英棒进行支持，因此需要设置较长的焊接臂，精度难以控制，焊接处应力较大，强度低，支撑点少，由于采用开设孔的方式引导气流，阻力大，石英舟整体重量大。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型的目的是提供一种小型圆片石英舟。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种小型圆片石英舟，包括前后平行设置的底槽棒，所述底槽棒之间连接有底杆，所述底杆外侧斜上方设有侧槽棒，所述侧槽棒与所述底槽棒平行，所述底槽棒与其同侧的侧槽棒之间通过连接板连接，所述底槽棒顶部设有便于硅片插入的底卡槽，所述侧槽棒内侧设有内卡槽，所述连接板外侧设有承载柱，所述侧槽棒外侧设有便于取放的取放管，所述取放管与所述侧槽棒平行，所述连接板外侧设有沿所述连接板长度方向延伸的筋条，所述承载柱截面为椭圆形，所述承载柱长轴端与所述连接板连接。

上述设计中通过截面为弧形的承载柱放置在托架上，承载柱与连接板焊接位置填充物小，敢接容易，应力小，焊接时精度易于控制，强度高。

作为本设计的进一步改进，所述底卡槽和所述侧卡槽开口夹角为2°，有效防止圆片装载后晃动且防止圆片向一侧倾斜导致石英舟轴倾翻。

作为本设计的进一步改进，所述底杆为三根且分别位于所述底槽棒两端和中部，连接强度高，

作为本设计的进一步改进，所述底杆截面为椭圆状，强度好，平放时石英舟更加稳定。

作为本设计的进一步改进，所述连接板为向下凸起的弧形条板，石英舟底部均为镂空状，气流阻力小，节省原材料，减轻石英舟整体重量，采用筋条加固的连接板强度高。

本实用新型的有益效果是：本实用新型通过截面为弧形的承载柱放置在托架上，承载柱与连接板焊接位置填充物小，敢接容易，应力小，焊接时精度易于控制，强度高。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。

图1是本实用新型的侧面结构示意图。

在图中1.底杆，2.底槽棒，3.底卡槽，4.承载柱，5.筋条，6.连接板，7.侧槽棒，8.内卡槽，9.取放管。

具体实施方式

下面将结合附图以及具体实施例来详细说明本实用新型，其中的示意性实施例以及说明仅用来解释本实用新型，但并不作为对本实用新型的限定。

实施例：一种小型圆片石英舟，包括前后平行设置的底槽棒2，所述底槽棒2之间连接有底杆1，所述底杆1外侧斜上方设有侧槽棒7，所述侧槽棒7与所述底槽棒2平行，所述底槽棒2与其同侧的侧槽棒7之间通过连接板6连接，所述底槽棒2顶部设有便于硅片插入的底卡槽3，所述侧槽棒7内侧设有内卡槽8，所述连接板6外侧设有承载柱4，所述侧槽棒7外侧设有便于取放的取放管9，所述取放管9与所述侧槽棒7平行，所述连接板6外侧设有沿所述连接板6长度方向延伸的筋条5，所述承载柱4截面为椭圆形，所述承载柱4长轴端与所述连接板6连接。

上述设计中通过截面为椭圆形的承载柱4放置在托架上，承载柱4与连接板6焊接位置填充物小，敢接容易，应力小，焊接时精度易于控制，强度高。

作为本设计的进一步改进，所述底卡槽3和所述内卡槽8开口夹角为2°，有效防止圆片装载后晃动且防止圆片向一侧倾斜导致石英舟轴倾翻。

作为本设计的进一步改进，所述底杆1为三根且分别位于所述底槽棒2两端和中部，连接强度高，

作为本设计的进一步改进，所述底杆1截面为椭圆状，强度好，平放时石英舟更加稳定。

作为本设计的进一步改进，所述连接板6为向下凸起的弧形条板，石英舟底部均为镂空状，气流阻力小，节省原材料，减轻石英舟整体重量，采用筋条5加固的连接板6强度高。

以上所述仅为本实用新型的实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。