[实用新型]一种基于光纤传导的新型干涉部件及其系统有效
| 申请号： | 201720884376.2 | 申请日： | 2017-07-20 |
| 公开（公告）号： | CN207456607U | 公开（公告）日： | 2018-06-05 |
| 发明（设计）人： | 杨亮 | 申请（专利权）人： | 绍兴晓光科技有限公司 |
| 主分类号： | G01J3/02 | 分类号： | G01J3/02;G01H9/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 312000 浙江省绍兴市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种基于光纤传导的新型干涉部件及其系统，核心部件采用MEMS工艺设计而成，体积小巧，易于批量化生产，便于封装。由于采用了干涉型光路，更易于测量振动，灵敏度更高，整个系统通过光纤传导可以实现远距离的振动测量，可以作为传感器节点进行多点布控。作为光谱仪使用相比于传统的扫描装置，可以实现更大行程的扫描，提高光谱的分辨率。对气体分析以及其他固体物质分析的准确度均有很大提高，因此具备良好的应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 光纤传导 干涉部件 本实用新型 传感器节点 光谱仪 准确度 测量振动 固体物质 核心部件 气体分析 扫描装置 振动测量 传统的 大行程 干涉型 灵敏度 批量化 远距离 分辨率 布控 光路 光谱 封装 扫描 应用 分析 生产 | ||
【主权项】：
一种基于光纤传导的新型干涉部件，包括干涉部件和扫描部件，其特征在于：所述干涉部件包括MEMS基座(6)、出射端子(7)、入射端子(8)、立方分束器(9)，所述立方分束器(9)设置于所述MEMS基座(6)上，所述立方分束器(9)分别通过光纤与所述出射端子(7)和入射端子(8)相连；所述扫描部件为MEMS微镜(1)；其中，所述立方分束器(9)还分别通过光纤连接有第一光纤准直器(3)和第二光纤准直器(4)，所述第一光纤准直器(3)和第二光纤准直器(4)分别对准所述MEMS微镜(1)的正反面。
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