[实用新型]一种基于光纤传导的新型干涉部件及其系统

说明书

本实用新型公开了一种基于光纤传导的新型干涉部件及其系统，核心部件采用MEMS工艺设计而成，体积小巧，易于批量化生产，便于封装。由于采用了干涉型光路，更易于测量振动，灵敏度更高，整个系统通过光纤传导可以实现远距离的振动测量，可以作为传感器节点进行多点布控。作为光谱仪使用相比于传统的扫描装置，可以实现更大行程的扫描，提高光谱的分辨率。对气体分析以及其他固体物质分析的准确度均有很大提高，因此具备良好的应用前景。

技术领域

本实用新型涉及微小振动测量以及光谱测量领域，尤其涉及一种基于光纤传导的新型干涉部件及其系统。

背景技术

现有干涉技术中多采用空间光路搭建而成，体积大，调试困难，并且受环境的温度湿度以及振动都有一定影响。实际使用中需要加入需要校正设备，并且还需要定期校正，对使用和操作都有一定的要求，并且光路传导的距离有限，无法实现远距离测量。

实用新型内容

针对上述问题，本实用新型提供了一种基于光纤传导的新型干涉部件及其系统。

本实用新型为解决其技术问题所采用的技术方案是：

一种基于光纤传导的新型干涉部件，包括干涉部件和扫描部件，其特征在于：

所述干涉部件包括MEMS基座、出射端子、入射端子、立方分束器，所述立方分束器设置于所述MEMS基座上，所述立方分束器分别通过光纤与所述出射端子和入射端子相连；

所述扫描部件为MEMS微镜；

其中，所述立方分束器还分别通过光纤连接有第一光纤准直器和第二光纤准直器，所述第一光纤准直器和第二光纤准直器分别对准所述MEMS微镜的正反面。

作为对上述方案的进一步改进，所述MEMS基座上开设有若干V型槽，所述出射端子、入射端子、第一光纤准直器和第二光纤准直器均分别通过光纤连接于所述V型槽内。

进一步，所述MEMS微镜与第一光纤准直器和第二光纤准直器封装到外壳的腔体内部。

进一步，所述外壳的腔体内部充有惰性气体。

进一步，所述MEMS微镜包括硅基座，所述硅基座上分布有焊盘，所述焊盘通过金丝焊接方式将MEMS微镜上的焊盘引出，所述硅基座上通过走线将电信号引导至焊孔处，焊孔与柔性电路板通过接插件连接，所述柔性电路板另外一段的焊盘直接连接到外部MEMS微镜控制系统上，MEMS微镜还包括反射镜面，入射光垂直入射到反射镜面后可以原路返回参与干涉，所述反射镜面四周围绕有MEMS边框，所述MEMS边框上分布有焊盘，将MEMS微镜的驱动装置外接引出，以方便控制。

一种由基于光纤传导的新型干涉部件构成的系统，其特征在于包括：

所述基于光纤传导的新型干涉部件；

光源，所述光源连接入射端子，并提供光线进入所述入射端子；

光电检测系统，所述光电检测系统与出射端子相连接，由所述基于光纤传导的新型干涉部件产生的干涉光通过出射端子导入所述光电检测系统；

嵌入式控制系统，所述嵌入式控制系统与所述光电检测系统相连，所述嵌入式控制系统接收由所述光电检测系统将干涉光转换成的电信号；

MEMS微镜控制系统，所述MEMS微镜控制系统一端连接所述嵌入式控制系统，另一端通过柔性电路板连接到所述MEMS微镜上；

终端控制装置，所述终端控制装置与所述嵌入式控制系统相连；

其中，嵌入式控制系统在采集信号的同时输出控制信号给MEMS微镜控制系统，所述MEMS微镜控制系统输出控制信号给所述MEMS微镜，所述MEMS微镜垂直于入射光线进行扫描。

进一步，所述终端控制装置为计算机以及手机、平板。