[实用新型]一种基于光纤传导的新型干涉部件及其系统

权利要求书

1.一种基于光纤传导的新型干涉部件，包括干涉部件和扫描部件，其特征在于：

所述干涉部件包括MEMS基座(6)、出射端子(7)、入射端子(8)、立方分束器(9)，所述立方分束器(9)设置于所述MEMS基座(6)上，所述立方分束器(9)分别通过光纤与所述出射端子(7)和入射端子(8)相连；

所述扫描部件为MEMS微镜(1)；

其中，所述立方分束器(9)还分别通过光纤连接有第一光纤准直器(3)和第二光纤准直器(4)，所述第一光纤准直器(3)和第二光纤准直器(4)分别对准所述MEMS微镜(1)的正反面。

2.根据权利要求1所述的一种基于光纤传导的新型干涉部件，其特征在于：所述MEMS基座(6)上开设有若干V型槽(5)，所述出射端子(7)、入射端子(8)、第一光纤准直器(3)和第二光纤准直器(4)均分别通过光纤连接于所述V型槽(5)内。

3.根据权利要求2所述的一种基于光纤传导的新型干涉部件，其特征在于：所述MEMS微镜(1)与第一光纤准直器(3)和第二光纤准直器(4)封装到外壳(16)的腔体内部。

4.根据权利要求3所述的一种基于光纤传导的新型干涉部件，其特征在于：所述外壳(16)的腔体内部充有惰性气体。

5.根据权利要求1所述的一种基于光纤传导的新型干涉部件，其特征在于：所述MEMS微镜(1)包括硅基座(21)，所述硅基座(21)上分布有焊盘(18)，所述焊盘(18)通过金丝焊接方式将MEMS微镜上的焊盘引出，所述硅基座(21)上通过走线将电信号引导至焊孔(22)处，焊孔(22)与柔性电路板(17)通过接插件连接，所述柔性电路板(17)另外一段的焊盘(23)直接连接到外部MEMS微镜控制系统上，MEMS微镜(1)还包括反射镜面(20)，入射光垂直入射到反射镜面(20)后可以原路返回参与干涉，所述反射镜面(20)四周围绕有MEMS边框(19)，所述MEMS边框(19)上分布有焊盘，将MEMS微镜(1)的驱动装置外接引出，以方便控制。

6.一种由基于光纤传导的新型干涉部件构成的系统，其特征在于包括：

根据权利要求1-5中任一项所述的一种基于光纤传导的新型干涉部件；

光源(13)，所述光源(13)连接入射端子(8)，并提供光线进入所述入射端子(8)；

光电检测系统(12)，所述光电检测系统(12)与出射端子(7)相连接，由所述基于光纤传导的新型干涉部件产生的干涉光通过出射端子(7)导入所述光电检测系统(12)；

嵌入式控制系统(11)，所述嵌入式控制系统(11)与所述光电检测系统(12)相连，所述嵌入式控制系统(11)接收由所述光电检测系统(12)将干涉光转换成的电信号；

MEMS微镜控制系统(10)，所述MEMS微镜控制系统(10)一端连接所述嵌入式控制系统(11)，另一端通过柔性电路板(2)连接到所述MEMS微镜(1)上；

终端控制装置，所述终端控制装置与所述嵌入式控制系统(11)相连；

其中，嵌入式控制系统(11)在采集信号的同时输出控制信号给MEMS微镜控制系统(10)，所述MEMS微镜控制系统(10)输出控制信号给所述MEMS微镜(1)，所述MEMS微镜(1)垂直于入射光线进行扫描。

7.根据权利要求6所述的一种由基于光纤传导的新型干涉部件构成的系统，其特征在于：所述终端控制装置为计算机(14)以及手机、平板(15)。

8.根据权利要求6或7所述的一种由基于光纤传导的新型干涉部件构成的系统，其特征在于：所述柔性电路板(2)将MEMS微镜(1)的焊盘(23)与MEMS微镜控制系统(10)进行电气连接。