[实用新型]一种全自动蚀刻清洗装置有效

专利信息
申请号: 201720847266.9 申请日: 2017-07-13
公开(公告)号: CN206877973U 公开(公告)日: 2018-01-12
发明(设计)人: 马卓;吴成福 申请(专利权)人: 信丰迅捷兴电路科技有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;B08B3/08;B08B3/12;B08B3/02
代理公司: 南昌赣专知识产权代理有限公司36129 代理人: 刘锦霞,张文宣
地址: 341600 江西*** 国省代码: 江西;36
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摘要: 实用新型公开了一种全自动蚀刻清洗装置,包括机架、蓄电池和载物板,所述机架顶部安装载物板,所述机架底部一侧设有蓄电池,所述载物板上一侧安装有清洗塔一,所述载物板上另一侧安装有水泵,所述水泵和清洗塔一之间设有清洗塔二,所述清洗塔一内顶部设有超声波清洗腔,所述超声波清洗腔内设有超声波发生器,所述清洗塔一内底部设有压力泵一,所述清洗塔一底部设有冲洗喷头一,压力泵一底部连接冲洗喷头一,所述清洗塔二内底部设有压力泵二,所述清洗塔二底部设有冲洗喷头二。该实用新型通过合理设置超声波清洗腔、加热腔、传送带、清洗塔一、清洗塔二等结构,具有了清洗方便、烘干迅速、自动化程度高等优点,设计新颖合理,适合广泛推广。
搜索关键词: 一种 全自动 蚀刻 清洗 装置
【主权项】:
一种全自动蚀刻清洗装置,包括机架(1)、蓄电池(14)和载物板(2),其特征在于,所述机架(1)顶部安装载物板(2),所述机架(1)底部一侧设有蓄电池(14),所述载物板(2)上一侧安装有清洗塔一(7),所述载物板(2)上另一侧安装有水泵(11),所述水泵(11)和清洗塔一(7)之间设有清洗塔二(8),所述清洗塔一(7)内顶部设有超声波清洗腔(9),所述超声波清洗腔(9)内设有超声波发生器(10),所述清洗塔一(7)内底部设有压力泵一(3),所述清洗塔一(7)底部设有冲洗喷头一(4),压力泵一(3)底部连接冲洗喷头一(4),所述清洗塔二(8)内底部设有压力泵二(5),所述清洗塔二(8)底部设有冲洗喷头二(6),压力泵二(5)底部连接冲洗喷头二(6),所述水泵(11)一侧通过水管连接有冲洗喷头三(19),所述载物板(2)下端一侧设有加热腔(13),所述加热腔(13)内设有红外发生器(18),所述加热腔(13)一侧设有热风机(12),所述机架(1)内底部设有蓄水槽(16),所述蓄水槽(16)与载物板(2)之间通过有传送带(17),所述冲洗喷头一(4)、冲洗喷头二(6)、冲洗喷头三(19)、加热腔(13)和热风机(12)位于传送带(17)上端。
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