[实用新型]一种全自动蚀刻清洗装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种清洗装置，特别涉及一种全自动蚀刻清洗装置。

背景技术

蚀刻清洗，目的是为了清除芯片表面的氧化物、杂质、油脂、水分等，是完成蚀刻作业中一道重要的工序，传统的蚀刻清洗往往需要人工操作和机器操作结合，会浪费一定的人力物力，并且现今的蚀刻清洗装置往往设计缺乏创新，功能也十分简单，为此，我们提出一种全自动蚀刻清洗装置。

实用新型内容

本实用新型的主要目的在于提供一种全自动蚀刻清洗装置，可以有效解决背景技术中的问题。

为实现上述目的，本实用新型采取的技术方案为：

一种全自动蚀刻清洗装置，包括机架、蓄电池和载物板，所述机架顶部安装载物板，所述机架底部一侧设有蓄电池，所述载物板上一侧安装有清洗塔一，所述载物板上另一侧安装有水泵，所述水泵和清洗塔一之间设有清洗塔二，所述清洗塔一内顶部设有超声波清洗腔，所述超声波清洗腔内设有超声波发生器，所述清洗塔一内底部设有压力泵一，所述清洗塔一底部设有冲洗喷头一，压力泵一底部连接冲洗喷头一，所述清洗塔二内底部设有压力泵二，所述清洗塔二底部设有冲洗喷头二，压力泵二底部连接冲洗喷头二，所述水泵一侧通过水管连接有冲洗喷头三，所述载物板下端一侧设有加热腔，所述加热腔内设有红外发生器，所述加热腔一侧设有热风机，所述机架内底部设有蓄水槽，所述蓄水槽与载物板之间通过有传送带，所述冲洗喷头一、冲洗喷头二、冲洗喷头三、加热腔和热风机位于传送带上端。

进一步地，所述传送带上等间距的设有排水孔。

进一步地，所述机架底部设有可制动万向轮。

进一步地，所述水泵、红外发生器、超声波发生器与蓄电池电性相连。

与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：通过载物板上一侧安装有清洗塔一，可以储存含有甲醇、丙酮的清洗液，这种清洗液可以去除杂质和油脂，通过清洗塔一内顶部设有超声波清洗腔，所述超声波清洗腔内设有超声波发生器，可以利用超声波发生器发出声波，击碎清洗塔内壁的污渍，用于清洗清洗塔十分高效，通过清洗塔一内底部设有压力泵一，清洗塔一底部设有冲洗喷头一，压力泵一底部连接冲洗喷头一，压力泵一工作使冲洗喷头一的冲洗能力大大增强，提高了蚀刻清洗效率，通过载物板上设有清洗塔二，可以储存含有氢氟酸的清洗液，这种清洗液具有清除芯片表面氧化物的作用，同理，通过清洗塔二内底部设有压力泵二，清洗塔二底部设有冲洗喷头二，压力泵二底部连接冲洗喷头二，也增强了冲洗喷头二的冲洗能力，提高了蚀刻清洗效率，通过载物板上另一侧安装有水泵，水泵一侧通过水管连接有冲洗喷头三，可以对过滤好的芯片进行清洗，去除其表面的丙酮等清洗液，通过载物板下端一侧设有加热腔，加热腔内设有红外发生器，可以利用红外发热均匀迅速的特点，对清洗好的芯片进行加热烘干，通过加热腔一侧设有热风机，可以吹散芯片上的水汽，加速烘干效率，通过机架内底部设有蓄水槽，可以收集废弃的清洗液，通过蓄水槽与载物板之间通过有传送带，冲洗喷头一、冲洗喷头二、冲洗喷头三、加热腔和热风机位于传送带上端，可以利用传送带大批量的进行蚀刻清洗，十分高效。该种全自动蚀刻清洗装置，通过合理设置超声波清洗腔、加热腔、传送带、清洗塔一、清洗塔二等结构，具有了清洗方便、烘干迅速、自动化程度高等优点，设计新颖合理，适合广泛推广。

附图说明

图1为本实用新型全自动蚀刻清洗装置的整体结构示意图。

图2为加热腔的内部结构示意图。

图中：1、机架；2、载物板；3、压力泵一；4、冲洗喷头一；5、压力泵二；6、冲洗喷头二；7、清洗塔一；8、清洗塔二；9、超声波清洗腔；10、超声波发生器；11、水泵；12、热风机；13、加热腔；14、蓄电池；15、可制动万向轮；16、蓄水槽；17、传送带；18、红外发生器；19、冲洗喷头三。

具体实施方式

为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本实用新型。