[实用新型]一种石墨舟有效
申请号: | 201720769824.4 | 申请日: | 2017-06-29 |
公开(公告)号: | CN207068820U | 公开(公告)日: | 2018-03-02 |
发明(设计)人: | 张明明;马树明;蒋万昌;郭梦龙;王海超 | 申请(专利权)人: | 合肥海润光伏科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673;H01L31/18 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司11332 | 代理人: | 胡彬 |
地址: | 230000 安徽省合肥*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种便于自动装卸舟设备检测正反的石墨舟,包括舟体,舟体由多个平行分布且串接的舟片构成;两组舟脚,两组舟脚分别支撑舟体底部的两端,舟脚包括两个支撑舟体端部两侧的外舟脚、位于两个外舟脚之间且能够沿舟体底部水平移动的两个相对的内舟脚,两个内舟脚靠拢后在两个内舟脚之间形成卡槽;其中,舟体的两端上均设有两个电极块,且两端上两个电极块分别相对设置,其中一个电极块上设有标记石墨舟正反面的标记孔。本实用新型通过在石墨舟的其中一个电极块上开设标记孔,当石墨舟在放反的状态下进入自动装卸舟设备时,由于无法检测到标记孔,自动装卸舟设备就会报警且拒绝石墨舟进入,这样就可以避免石墨舟进反造成的安全事故。 | ||
搜索关键词: | 一种 石墨 | ||
【主权项】:
一种石墨舟,其特征在于,包括:舟体,所述舟体由多个平行分布且串接的舟片构成;两组舟脚,两组所述舟脚分别支撑所述舟体底部的两端,每组所述舟脚均包括两个支撑所述舟体端部两侧的外舟脚、位于两个所述外舟脚之间且能够沿所述舟体底部水平移动的两个相对的内舟脚,两个所述内舟脚靠拢后在两个所述内舟脚之间形成卡槽;其中,所述舟体的两端上均设有两个电极块,且两端上两个所述电极块分别相对设置,其中一个所述电极块上设有标记所述石墨舟正反面的标记孔。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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