[实用新型]一种石墨舟有效
申请号: | 201720769824.4 | 申请日: | 2017-06-29 |
公开(公告)号: | CN207068820U | 公开(公告)日: | 2018-03-02 |
发明(设计)人: | 张明明;马树明;蒋万昌;郭梦龙;王海超 | 申请(专利权)人: | 合肥海润光伏科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673;H01L31/18 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司11332 | 代理人: | 胡彬 |
地址: | 230000 安徽省合肥*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 石墨 | ||
1.一种石墨舟,其特征在于,包括:
舟体,所述舟体由多个平行分布且串接的舟片构成;
两组舟脚,两组所述舟脚分别支撑所述舟体底部的两端,每组所述舟脚均包括两个支撑所述舟体端部两侧的外舟脚、位于两个所述外舟脚之间且能够沿所述舟体底部水平移动的两个相对的内舟脚,两个所述内舟脚靠拢后在两个所述内舟脚之间形成卡槽;
其中,所述舟体的两端上均设有两个电极块,且两端上两个所述电极块分别相对设置,其中一个所述电极块上设有标记所述石墨舟正反面的标记孔。
2.根据权利要求1所述的石墨舟,其特征在于,所述标记孔为逐渐向所述电极块内部收窄的锥形孔。
3.根据权利要求1所述的石墨舟,其特征在于,所述舟脚中的两个所述外舟脚之间通过穿管连接,所述穿管贯穿靠近所述舟体底部的所述电极块,所述穿管上还穿设有若干个将电连接到靠近所述舟体底部的所述电极块的部分所述舟片间隔的石墨块,各所述石墨块上均设有供所述内舟脚滑动的滑槽。
4.根据权利要求3所述的石墨舟,其特征在于,所述内舟脚上还连接有将其锁紧在所述滑槽上的螺栓。
5.根据权利要求1所述的石墨舟,其特征在于,所述卡槽为倒U形。
6.根据权利要求1所述的石墨舟,其特征在于,各所述舟片通过多个平行设置的陶瓷棒垂直贯穿各所述舟片形成串接。
7.根据权利要求1-6任一项所述的石墨舟,其特征在于,各所述舟片包括:
两个第一外舟片,两个所述第一外舟片相对设置,两个所述第一外舟片上均设有若干工艺卡点,且其中一个所述第一外舟片上的各所述工艺卡点与另一个所述第一外舟片上的各所述工艺卡点互不相对;
两个第二内舟片,两个所述第二内舟片设置在两个所述第一外舟片之间且分别靠近两个所述第一外舟片;以及
多个第三舟片和多个第四舟片,各所述第三舟片和各所述第四舟片设置在两个所述第二内舟片之间,且所述第三舟片与所述第四舟片依次交错分布。
8.根据权利要求7所述的石墨舟,其特征在于,各所述电极块包括:
两个第一电极块,两个所述第一电极块相对设置,其中一个所述第一电极块电连接两个所述第一外舟片与各所述第三舟片相对应的一端,另一个所述第一电极块电连接两个所述第一外舟片与各所述第三舟片相对应的另一端;以及
两个第二电极块,两个所述第二电极块相对设置,其中一个所述第二电极块电连接两个所述第二内舟片与各所述第四舟片相对应的一端,另一个所述第二电极块电连接两个所述第二内舟片与各所述第四舟片相对应的另一端;
其中一个所述第一电极块或第二电极块上设有标记所述石墨舟正反面的所述标记孔。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造