[实用新型]变面积式电容压力传感器

摘要

变面积式电容压力传感器。本实用新型组成包括筒体（1），筒体一侧内壁具有内螺纹，圆板（2）通过内螺纹与筒体连接，绝缘支架（3）固定在圆板上，上中心柱（4）穿过绝缘支架中心固定，上中心柱一端连接有固定电极（5），筒体另一侧内壁具有挡肩，挡块（6）通过将金属膜片（7）的边缘压在挡肩上以实现金属膜片的固定，金属膜片中心部分具有波纹环，挡块下表面具有限制膜片过大变形的波纹面，以保护膜片在过载时不至于损坏，金属膜片的波纹环中心连接下中心柱（8），下中心柱与可动电极（9）连接，固定电极、可动电极均是同心多层金属圆筒，固定电极与可动电极相互穿插，形成两电极的交错重叠。本实用新型用于测量压力。

主权项

一种变面积式电容压力传感器，其组成包括：筒体，其特征是：所述的筒体一侧内壁具有内螺纹，圆板通过所述的内螺纹与所述的筒体连接，绝缘支架固定在所述的圆板上，上中心柱穿过所述的绝缘支架中心固定，所述的上中心柱一端连接有固定电极，所述的筒体另一侧内壁具有挡肩，挡块通过将金属膜片的边缘压在所述的挡肩上以实现金属膜片的固定，所述的金属膜片中心部分具有波纹环，所述的挡块下表面具有限制膜片过大变形的波纹面，以保护膜片在过载时不至于损坏，所述的金属膜片的波纹环中心连接下中心柱，所述的下中心柱与可动电极连接，所述的固定电极、所述的可动电极均是同心多层金属圆筒，所述的固定电极与所述的可动电极相互穿插，形成两电极的交错重叠，所述的筒体内腔侧壁的内螺纹、挡肩、挡块的外侧壁处抹有硅油，通过圆板、挡块形成封闭的、压力恒定的空腔。