[实用新型]变面积式电容压力传感器

说明书

技术领域：

本实用新型涉及一种变面积式电容压力传感器。

背景技术：

压力传感器是压力检测系统中的重要组成部分,由各种压力敏感元件将被测压力信号转换成容易测量的电信号作输出,给显示仪表显示压力值,或供控制和报警使用。压力传感器的种类繁多，但是工作原理差别很大，各有各的优缺点。目前成本低、线性特性好、稳定性精度又高的压力传感器不多。

实用新型内容：

本实用新型的目的是提供一种变面积式电容压力传感器。

上述的目的通过以下的技术方案实现：

一种变面积式电容压力传感器，其组成包括：筒体，所述的筒体一侧内壁具有内螺纹，圆板通过所述的内螺纹与所述的筒体连接，绝缘支架固定在所述的圆板上，上中心柱穿过所述的绝缘支架中心固定，所述的上中心柱一端连接有固定电极，所述的筒体另一侧内壁具有挡肩，挡块通过将金属膜片的边缘压在所述的挡肩上以实现金属膜片的固定，所述的金属膜片中心部分具有波纹环，所述的挡块下表面具有限制膜片过大变形的波纹面，以保护膜片在过载时不至于损坏，所述的金属膜片的波纹环中心连接下中心柱，所述的下中心柱与可动电极连接，所述的固定电极、所述的可动电极均是同心多层金属圆筒，所述的固定电极与所述的可动电极相互穿插，形成两电极的交错重叠，所述的筒体内腔侧壁的内螺纹、挡肩、挡块的外侧壁处抹有硅油，通过圆板、挡块形成封闭的、压力恒定的空腔。

本实用新型的有益效果：

本实用新型的工作原理如下所述：被测压力作用在金属膜片上，通过中心柱和支撑簧片，使可动电极随簧片中心位移而动作。可动电极与固定电极均是金属同心多层圆筒，断面呈梳齿形，其电容量由两电极交错重叠部分的面积所决定。固定电极与外壳之间绝缘，可动电极则与外壳导通。压力引起的极间电容变化由中心柱引至适当的变换器电路，转换成反映被测压力的标准电信号输出。

本实用新型的金属膜片为不锈钢材质，膜片后设有带波纹面的挡块，限制膜片过大变形，以保护膜片在过载时不至于损坏。膜片中心位移不超过0.3mm，当外界压强发生变化时，膜片中心产生位移，从而获得相对于筒体内空腔压强的测量值。

本实用新型结构简单，灵敏度高，精确度高，动态响应快。

附图说明：

附图1是本实用新型的结构示意图。

具体实施方式：

实施例1：

一种变面积式电容压力传感器，其组成包括：筒体1，所述的筒体一侧内壁具有内螺纹，圆板2通过所述的内螺纹与所述的筒体连接，绝缘支架3固定在所述的圆板上，上中心柱4穿过所述的绝缘支架中心固定，所述的上中心柱一端连接有固定电极5，所述的筒体另一侧内壁具有挡肩，挡块6通过将金属膜片7的边缘压在所述的挡肩上以实现金属膜片的固定，所述的金属膜片中心部分具有波纹环，所述的挡块下表面具有限制膜片过大变形的波纹面，以保护膜片在过载时不至于损坏，所述的金属膜片的波纹环中心连接下中心柱8，所述的下中心柱与可动电极9连接，所述的固定电极、所述的可动电极均是同心多层金属圆筒，所述的固定电极与所述的可动电极相互穿插，形成两电极的交错重叠，所述的筒体内腔侧壁的内螺纹、挡肩、挡块的外侧壁处抹有硅油，通过圆板、挡块形成封闭的、压力恒定的空腔。挡块的上表面具有凹槽，支撑簧片两端固定在凹槽的侧壁，支撑簧片10穿过下中心柱，为下中心柱提供了一个稳定的平衡位置，当金属膜片振动时，带动下中心柱围绕平衡位置往复运动。