[实用新型]一种晶圆传送装置以及高能离子注入机

摘要

本实用新型提供了一种晶圆传送装置以及高能离子注入机，其中，晶圆传送装置包括真空放置盒，真空放置盒内设置有多个晶圆放置结构；每个晶圆放置结构包括一对承托部，用以承托放置的晶圆凸出的真空吸附盘，设置于一对承托部上，用以吸附晶圆；气体驱动装置，用以驱动真空放置盒自一初始位置水平移动至晶圆卸载口；气体流量控制阀，气体流量控制阀的进气端与一进气管连接，用以控制输入气体驱动装置中的气体流量；气体流量计，用以显示进入气体驱动装置中的进气量。其技术方案的有益效果在于，避免真空放置盒内的晶圆与承托部之间发生碰撞，造成晶圆出现损伤的问题。

主权项

一种晶圆传送装置，应用于高能离子注入机中，所述高能离子注入机包括一反应腔体，以及与所述反应腔体连接的一晶圆卸载口，通过一晶圆传送装置将晶圆自所述晶圆卸载口传送至所述反应腔体内，其特征在于，所述晶圆传送装置包括：真空放置盒，所述真空放置盒内设置有多个晶圆放置结构；每个所述晶圆放置结构包括：一对承托部，用以承托放置的所述晶圆；凸出的真空吸附盘，设置于所述一对承托部上，用以吸附所述晶圆；气体驱动装置，与所述真空放置盒连接，用以驱动所述真空放置盒自一初始位置水平移动至所述晶圆卸载口；气体流量控制阀，所述气体流量控制阀的进气端与一进气管连接，出气端与所述气体驱动装置连接，用以控制输入所述气体驱动装置中的气体流量；气体流量计，连接于所述气体流量控制阀与所述气体驱动装置之间，用以显示进入所述气体驱动装置中的进气量。