[实用新型]一种电子元件生产的离子注入装置有效
| 申请号： | 201720725315.1 | 申请日： | 2017-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN206961791U | 公开（公告）日： | 2018-02-02 |
| 发明（设计）人： | 徐月苗 | 申请（专利权）人： | 诸暨越博企业管理咨询有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;H01J37/14;H01J37/20;H01J37/09 |
| 代理公司： | 濮阳华凯知识产权代理事务所(普通合伙)41136 | 代理人： | 王传明 |
| 地址： | 311800 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种电子元件生产的离子注入装置，包括离子源，离子源上端安装有离子喷枪，离子源上端连接有离子通道，离子通道上设置有离子过滤孔隙，离子过滤孔隙右端设置有聚焦器，聚焦器右端设置有磁镜，磁镜右端连接有离子加速器，离子加速器内设置有晶片夹具，晶片夹具包括基板，基板内设置有晶片插槽，基板内设置有若干个遮挡凹槽，遮挡凹槽内插入遮挡板，遮挡板与遮挡凹槽可拆卸连接，通过对离子注入装置进行结构改进，利用磁镜来稳定离子束，使得离子在注入过程中更加均匀稳定，采用晶片夹具来夹持晶片，使得晶片能够稳定接收离子束，避免离子注入过程中晃动带来的偏差，晶片夹具上的遮挡板位置可调，实现均匀分布，值得推广。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电子元件 生产 离子 注入 装置 | ||
【主权项】：
一种电子元件生产的离子注入装置，其特征在于：包括离子源(1)，所述离子源(1)上端安装有离子喷枪(2)，所述离子源(1)上端连接有离子通道(3)，所述离子通道(3)上设置有离子过滤孔隙(4)，所述离子过滤孔隙(4)右端设置有聚焦器(5)，所述聚焦器(5)右端设置有磁镜(6)，所述磁镜(6)右端连接有离子加速器(7)，所述离子加速器(7)内设置有晶片夹具(8)；所述晶片夹具(8)包括基板(9)，所述基板(9)内设置有晶片插槽(10)，所述基板(9)内设置有若干个遮挡凹槽(11)，所述遮挡凹槽(11)内插入遮挡板(12)，所述遮挡板(12)与遮挡凹槽(11)可拆卸连接。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于诸暨越博企业管理咨询有限公司，未经诸暨越博企业管理咨询有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201720725315.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种新型广泛用于水利灌溉的水利闸门启闭设备
- 下一篇：一种湖面垃圾清理装置
