[实用新型]MEMS压力传感器有效
| 申请号： | 201720660348.2 | 申请日： | 2017-06-07 |
| 公开（公告）号： | CN206876312U | 公开（公告）日： | 2018-01-12 |
| 发明（设计）人： | 湛邵斌;霍红颖;胡涛;高月芳;王新中 | 申请（专利权）人： | 深圳信息职业技术学院 |
| 主分类号： | G01L1/14 | 分类号： | G01L1/14;G01L9/10 |
| 代理公司： | 深圳中一专利商标事务所44237 | 代理人： | 官建红 |
| 地址： | 518029 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及MEMS技术领域，提供了一种MEMS压力传感器。该MEMS压力传感器包括衬底，所述衬底中部设有上下贯通的空腔；薄膜，设于所述衬底上方且覆盖所述空腔；介质层，设于所述薄膜上方，所述介质层上设有电感线圈；固定电容，与所述电感线圈相连接。本实用新型提供的MEMS压力传感器，结构简单，灵敏度高，且电感线圈的电感值计算准确，测试方法简单，能够将压力信号转换为电信号，实现精准的压力测量。 | ||
| 搜索关键词： | mems 压力传感器 | ||
【主权项】：
一种MEMS压力传感器，其特征在于，包括：衬底，所述衬底中部设有上下贯通的空腔；薄膜，设于所述衬底上方且覆盖所述空腔；介质层，设于所述薄膜上方，所述介质层上设有电感线圈；固定电容，与所述电感线圈相连接。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳信息职业技术学院，未经深圳信息职业技术学院许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201720660348.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种低温流体传输管线漏热测试装置
- 下一篇：电感式压力传感器及压力测量电路
