[实用新型]用于平板式PECVD设备的盖板开启机构

摘要

本实用新型涉及平板式PECVD设备，旨在提供一种用于平板式PECVD设备的盖板开启机构。包括安装在提升拉臂安装座上的提升拉臂，提升拉臂的中部通过活动铰链与提升拉臂安装座连接，并以连接处作为提升拉臂的转动轴心；当提升拉臂分别位于转动行程起始位和终止位时，提升拉臂与提升拉臂安装座相接触，该两个接触位置各设置一组电气‑机械限位保护组件；每组电气‑机械限位保护组件均包括一个电气限位开关和至少一个机械限位块，前者通过导线连接至双作用液压缸的驱动液压泵。该产品的结构非常紧凑，工作效率高；通过设置有限位保护装置，能保证盖板完全开启或关闭后自动切断液压系统，保护液压系统和机械结构不被损坏；采用液压缸作为动力源，成本优势明显。

主权项

用于平板式PECVD设备的盖板开启机构，包括双作用液压缸，以及安装在提升拉臂安装座上的提升拉臂；双作用液压缸的推杆与提升拉臂、提升板和盖板依次连接，连接处设活动铰链；其特征在于，提升拉臂的中部通过活动铰链与提升拉臂安装座连接，并以连接处作为提升拉臂的转动轴心；当提升拉臂分别位于转动行程起始位和终止位时，提升拉臂分别与位于提升拉臂安装座两侧的接触位置相接，在该两个接触位置处各设置一组电气‑机械限位保护组件；每组电气‑机械限位保护组件均包括一个电气限位开关和至少一个机械限位块，电气限位开关通过导线连接至双作用液压缸的驱动液压泵；在提升拉臂转动并接近提升拉臂安装座的过程中，将先触发电气限位开关，再与机械限位块接触。