[实用新型]用于平板式PECVD设备的盖板开启机构

说明书

技术领域

本实用新型涉及平板式PECVD设备，具体涉及一种用于平板式PECVD设备的盖板开启机构。

背景技术

近年来，为了降低太阳能电池的成本，硅片的厚度不断降低，但是随着硅片厚度的减薄，少数载流子的扩散长度可能接近或大于硅片的厚度，部分少数载流子将会扩散到电池背面而产生复合，这将对电池效率产生重要影响。因此，为了提高电池片的转换效率，需要在电池片表面镀减反射膜。目前镀减反射膜主要采用PECVD方法(等离子体增强化学气相沉积技术，Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)。PECVD方法能起到钝化的作用，降低电池片背面复合速率。

PECVD方法是制备减反膜方法中最为成熟，操作也较为简单，能够实现全自动化生产。目前的PECVD设备主要有两种，一种是管式PECVD设备，这种设备采用的工作方法是在单一腔室内连续实现镀减反膜的一系列过程；另一种是板式PECVD设备，这种设备能够实现连续生产，产能也很高。

平板式PECVD盖板重量大，开启过程非连续动作，且开启机构安装空间紧凑，为开启机构的设计安装带来麻烦。因此需设计合适的开启机构，既满足盖板开启的动力需求又做到安全可靠，同时还要做到结构紧凑、高效。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是，克服现有技术中存在的问题，提供一种用于平板式PECVD设备的盖板开启机构。

为解决技术问题，本实用新型的解决方案是：

提供一种用于平板式PECVD设备的盖板开启机构，包括双作用液压缸，以及安装在提升拉臂安装座上的提升拉臂；双作用液压缸的推杆与提升拉臂、提升板和盖板依次连接，连接处设活动铰链；提升拉臂的中部通过活动铰链与提升拉臂安装座连接，并以连接处作为提升拉臂的转动轴心；当提升拉臂分别位于转动行程起始位和终止位时，提升拉臂与提升拉臂安装座相接触，该两个接触位置各设置一组电气-机械限位保护组件；每组电气-机械限位保护组件均包括一个电气限位开关和至少一个机械限位块，电气限位开关通过导线连接至双作用液压缸的驱动液压泵；在提升拉臂转动并接近提升拉臂安装座的过程中，将先触发电气限位开关，再与机械限位块接触。

作为改进，所述电气限位开关和机械限位块安装方式是下述的任意一种：

(1)电气限位开关和一个机械限位块均安装在提升拉臂上；

(2)电气限位开关和一个机械限位块均安装在提升拉臂安装座上；

(3)电气限位开关和一个机械限位块分别安装在提升拉臂安装座和提升拉臂上。

作为改进，所述机械限位块有两个，分别设置在提升拉臂安装座和提升拉臂上的相对位置。

作为改进，所述电气限位开关具有触发限位块，触发限位块设在提升拉臂安装座和提升拉臂上与电气限位开关相对的位置。

作为改进，当提升拉臂分别位于转动行程起始位和终止位时，盖板呈开启或闭合状态。

作为改进，所述双作用液压缸安装在液压缸安装座上且通过铰链连接，双作用液压缸能实现限定幅度内的摆动。

作为改进，所述盖板安装在盖板安装座或转轴上，盖板的一侧通过活动铰链与盖板安装座或转轴连接，并以其作为盖板的转动轴心。

本实用新型的工作过程是：

双作用液压缸动作，带动提升拉臂绕提升拉臂安装座转动，提升拉臂带动提升板运动，提升板继而带动盖板绕盖板安装座或转轴运动实现盖板的开合动作。

电气-机械限位保护组件用于盖板开启和关闭时的限位保护：

当盖板完成开启或闭合时，安装在提升拉臂安装座上的电气限位开关响应，液压泵断电停止供油，保证盖板开启机构不会因为开启过程的过运动产生损坏；当电气限位开关意外故障时，安装在提升拉臂和提升拉臂安装座上的开启位置机械限位块接触，开启机构受到限位块作用而停止运动，保证机构不会因为开启过程的过运动产生损坏。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

本实用新型的机构结构非常紧凑，工作效率高；通过设置有限位保护装置，能保证盖板完全开启或关闭后自动切断液压系统，保护液压系统和机械结构不被损坏；相较于传统的采用电缸或气缸作为动力源的开启机构，本实用新型采用液压缸作为动力源，成本优势明显。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图。

图2为限位装置结构示意图。

图3为盖板闭合时限位装置工作示意图。

图4为盖板开启时限位装置工作示意图。