[实用新型]一种DMOS截止环有效
申请号: | 201720648610.1 | 申请日: | 2017-06-06 |
公开(公告)号: | CN207233742U | 公开(公告)日: | 2018-04-13 |
发明(设计)人: | 李伟聪 | 申请(专利权)人: | 深圳市威兆半导体有限公司 |
主分类号: | H01L29/78 | 分类号: | H01L29/78;H01L29/06 |
代理公司: | 重庆百润洪知识产权代理有限公司50219 | 代理人: | 高姜 |
地址: | 518000 广东省深圳市南*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型涉及半导体技术领域,尤其涉及一种DMOS截止环。本实用新型的一种DMOS截止环,包括外延层、P‑Well层、氧化层、金属层以及接触层;P‑Well层设置于外延层上,氧化层设置于外延和P‑Well层上,与外延层以及P‑Well层相接触;金属层设置于氧化层上,接触层设置于P‑Well层上;DMOS截止环包括管芯区和划片道区,接触层位于划片道区,氧化层和金属层位于管芯区;利用划片道区域,不占用DMOS器件芯片面积,通过在DMOS器件芯片的划片道处设计制作截止环,降低了芯片成本。 | ||
搜索关键词: | 一种 dmos 截止 | ||
【主权项】:
一种DMOS截止环,其特征在于,包括:外延层(4)、P‑Well层(3)、氧化层(5)、金属层(1)以及接触层(2);所述P‑Well层(3)设置于所述外延层(4)上,所述氧化层(5)设置于所述外延层(4)和所述P‑Well层(3)上,与所述外延层(4)以及所述P‑Well层(3)相接触;所述金属层(1)设置于所述氧化层(5)上,所述接触层(2)设置于所述P‑Well层(3)上;所述DMOS截止环包括管芯区(10)和划片道区(20),所述接触层(2)位于所述划片道区(20),所述氧化层(5)和所述金属层(1)位于所述管芯区(10)。
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