[实用新型]一种平板式PECVD生产线硅片镀膜用的组合式碳碳框

摘要

本实用新型公开了一种平板式PECVD生产线硅片镀膜用的组合式碳碳框，包括碳碳框以及石墨框，碳碳框包括若干个平面矩形状的网格框，每个网格框的内上四边开设有一圈环形的用于嵌置石墨框的一级台阶槽，石墨框为平面矩形框，石墨框的长宽向截面与一级台阶槽的长宽向截面完全一致，一级台阶槽的槽深与石墨框的厚度的关系满足当石墨框嵌置在一级台阶槽中后一级台阶槽的剩余槽深满足嵌置硅片；本申请中由于硅片直接与石墨框接触，硅片不再与碳碳框直接接触，从而解决了原碳碳框台阶处使用一段时间起毛刺造成硅片报废的问题，使得硅片成品合格率提高了0.2％，碳碳框的使用寿命提升了10％以上。

主权项

一种平板式PECVD生产线硅片镀膜用的组合式碳碳框，其特征在于，包括碳碳框以及石墨框；所述碳碳框包括若干个平面矩形状的网格框，每个所述网格框的内上四边开设有一圈环形的用于嵌置所述石墨框的一级台阶槽；所述石墨框为平面矩形框，所述石墨框的长宽向截面与所述一级台阶槽的长宽向截面完全一致；所述一级台阶槽的槽深与所述石墨框的厚度的关系满足当所述石墨框嵌置在所述一级台阶槽中后所述一级台阶槽的剩余槽深满足嵌置硅片。