[实用新型]一种蒸镀速率测量装置有效
| 申请号： | 201720593449.2 | 申请日： | 2017-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN207002834U | 公开（公告）日： | 2018-02-13 |
| 发明（设计）人： | 高峰;王卫卫;何麟 | 申请（专利权）人： | 昆山国显光电有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司11250 | 代理人： | 张建纲 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种蒸镀速率测量装置，包括至少一个可移动蒸镀速率测量探头，用于监控至少一个蒸发源的蒸镀速率。由此，实现了对至少一个蒸发源的蒸镀速度的测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 速率 测量 装置 | ||
【主权项】：
一种蒸镀速率测量装置，其特征在于，包括：至少一个可移动蒸镀速率测量探头，用于监控至少一个蒸发源的蒸镀速率。
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