[实用新型]一种蒸镀速率测量装置有效
| 申请号： | 201720593449.2 | 申请日： | 2017-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN207002834U | 公开（公告）日： | 2018-02-13 |
| 发明（设计）人： | 高峰;王卫卫;何麟 | 申请（专利权）人： | 昆山国显光电有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/54 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司11250 | 代理人： | 张建纲 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 速率 测量 装置 | ||
1.一种蒸镀速率测量装置，其特征在于，包括：
至少一个可移动蒸镀速率测量探头，用于监控至少一个蒸发源的蒸镀速率。
2.根据权利要求1所述的蒸镀速率测量装置，其特征在于，还包括：
基板固定单元，用于固定被蒸镀的基板，所述基板固定单元与所述蒸镀速率测量探头的移动区域错开。
3.根据权利要求2所述的蒸镀速率测量装置，其特征在于：
所述基板固定单元设置在所述蒸发源的正上方；
所述蒸镀速率测量探头的移动区域设置在所述蒸发源的侧上方。
4.根据权利要求2所述的蒸镀速率测量装置，其特征在于：
所述基板固定单元设置在所述蒸发源的侧上方；
所述蒸镀速率测量探头的移动区域设置在所述蒸发源的正上方。
5.根据权利要求2-4中任一项所述的蒸镀速率测量装置，其特征在于，所述蒸镀速率测量探头与所述基板固定单元基本共面。
6.根据权利要求1所述的蒸镀速率测量装置，其特征在于，还包括：
蒸发源温度测量单元，用于实时测量所述蒸发源的温度；
蒸镀速率测量探头移动控制单元，用于根据测量的所述温度控制所述蒸镀速率测量探头的移动。
7.根据权利要求1所述的蒸镀速率测量装置，其特征在于，所述至少一个蒸发源组成线性蒸发源组。
8.根据权利要求7所述的蒸镀速率测量装置，其特征在于，还包括：
固定蒸镀速率测量探头，设置在所述线性蒸发源组的两端。
9.根据权利要求8所述的蒸镀速率测量装置，其特征在于，所述至少一个可移动蒸镀速率测量探头，用于在所述线性蒸发源组的两端之间平行于所述线性蒸发源组移动。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于昆山国显光电有限公司，未经昆山国显光电有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201720593449.2/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种催化渗合金气缸套夹具
- 下一篇：一种厨余垃圾无害化处置装置
- 同类专利
- 专利分类
