[实用新型]硅片衰减测试所用常温暴晒装置

摘要

本实用新型公开了一种硅片衰减测试所用常温暴晒装置，包括放置硅片的暴晒台，位于硅片上方设有水平排列的若干根石英玻璃管，所述的石英玻璃管内穿设有红外加热管，石英玻璃管一端密封连接有通入压缩二氧化碳气体的通气管，石英玻璃管另一端设有热风箱，石英玻璃管与热风箱密封连接，石英玻璃管内由红外加热管加热产生的热量随压缩二氧化碳气体排入热风箱内排出，位于石英玻璃管上方安装有吸收排出石英玻璃管所散发热量的热排风罩。本实用新型将红外加热管加热产生的红外光部分控制在石英玻璃管内，并通过压缩的二氧化碳气体流动吸收并排入热风箱，已将暴晒温度控制在常温状态下，从而更好地模拟硅片在自然情况下的衰减状态。

主权项

一种硅片衰减测试所用常温暴晒装置，包括放置硅片(2)的暴晒台(1)，其特征在于：位于硅片(2)上方设有水平排列的若干根石英玻璃管(3)，所述的石英玻璃管(3)内穿设有红外加热管(4)，石英玻璃管(3)一端密封连接有通入压缩二氧化碳气体的通气管(5)，石英玻璃管(3)另一端设有热风箱(6)，石英玻璃管(3)与热风箱(6)密封连接，石英玻璃管(3)内由红外加热管(4)加热产生的热量随压缩二氧化碳气体通入热风箱(6)内后排出，位于石英玻璃管(3)上方安装有吸收排出石英玻璃管(3)所散发热量的热排风罩(7)。