[实用新型]一种用于硅片的花篮有效
| 申请号： | 201720475545.7 | 申请日： | 2017-05-02 |
| 公开（公告）号： | CN206763493U | 公开（公告）日： | 2017-12-19 |
| 发明（设计）人： | 杨健;党继东 | 申请（专利权）人： | 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;盐城阿特斯协鑫阳光电力科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/08 | 分类号： | B08B3/08;H01L21/67;H01L21/673;H01L31/18 |
| 代理公司： | 苏州翔远专利代理事务所(普通合伙)32251 | 代理人： | 陆金星 |
| 地址： | 215129 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种用于硅片的花篮，主要包括两个侧板，两个侧板之间通过槽棒连接，所述槽棒至少有四根，其中1根槽棒设于其余槽棒的下方；各根槽棒上均设有复数个卡槽，各根槽棒上的卡槽一一对应并构成硅片承载槽。本实用新型改进了花篮的结构，通过将现有的5根槽棒减小至4根，并将设于侧板的下方中部的槽棒上的卡槽为与硅片的角配合的V形结构，从而改变了硅片的摆放方式，从现有的方方正正的摆放变成了竖直形态摆放，使硅片的角插入V形卡槽，从而减少了硅片的边与花篮的接触点，进一步减少了花篮印的产生。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 硅片 花篮 | ||
【主权项】：
一种用于硅片的花篮，主要包括两个侧板(1)，两个侧板之间通过槽棒(2)连接，其特征在于：所述槽棒(2)至少有四根，其中1根槽棒设于其余槽棒的下方；各根槽棒(2)上均设有复数个卡槽，各根槽棒(2)上的卡槽一一对应并构成硅片承载槽。
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