[实用新型]太阳能电池链式设备滚轮装置有效
| 申请号： | 201720465090.0 | 申请日： | 2017-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN207068825U | 公开（公告）日： | 2018-03-02 |
| 发明（设计）人： | 梁玲;王森涛;冯宇俊;王莹;曹志超;王森 | 申请（专利权）人： | 山西潞安太阳能科技有限责任公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;H01L31/18 |
| 代理公司： | 太原市科瑞达专利代理有限公司14101 | 代理人： | 李富元 |
| 地址： | 046000 山*** | 国省代码： | 山西;14 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及太阳能硅片生产领域，具体是一种太阳能电池链式设备滚轮装置。太阳能电池链式设备滚轮装置，其特征在于滚轮安装在刻蚀槽体中，硅片下表面与滚轮接触，刻蚀槽体里刻蚀液的液位在竖直方向上低于硅片下表面1‑1.5mm，滚轮表面有宽度为3mm深度为2.2mm的U型螺旋槽。本实用新型大大减少了由于滚轮运行不稳带来的工艺问题以及降低了不合格电池片产品数量，提升了电池片产品合格率。 | ||
| 搜索关键词： | 太阳能电池 链式 设备 滚轮 装置 | ||
【主权项】：
太阳能电池链式设备滚轮装置，其特征在于：滚轮安装在刻蚀槽体中，硅片下表面与滚轮接触，刻蚀槽体里刻蚀液的液位在竖直方向上低于硅片下表面1‑1.5mm，滚轮表面有宽度为3mm深度为2.2mm的U型螺旋槽。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于山西潞安太阳能科技有限责任公司，未经山西潞安太阳能科技有限责任公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201720465090.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种石墨舟
- 下一篇：单排内翻式引线框架收料机
- 同类专利
- 专利分类
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
