[实用新型]太阳能电池链式设备滚轮装置有效
申请号: | 201720465090.0 | 申请日: | 2017-04-28 |
公开(公告)号: | CN207068825U | 公开(公告)日: | 2018-03-02 |
发明(设计)人: | 梁玲;王森涛;冯宇俊;王莹;曹志超;王森 | 申请(专利权)人: | 山西潞安太阳能科技有限责任公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L31/18 |
代理公司: | 太原市科瑞达专利代理有限公司14101 | 代理人: | 李富元 |
地址: | 046000 山*** | 国省代码: | 山西;14 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 太阳能电池 链式 设备 滚轮 装置 | ||
技术领域
本实用新型涉及太阳能硅片生产领域,具体是一种太阳能电池链式设备滚轮装置。
背景技术
现有太阳能电池链式湿法切边设备,如Centrotherm C.Side Inline设备的切边槽体的滚轮结构不合理。在生产过程中滚轮转动轴芯不一致不在同一水平面,导致出现大量不合格半成品,例如黑边片或者硅片刻蚀量不够等。
实用新型内容
本实用新型所要解决的技术问题是:如何提供一种滚轮结构,减少硅片在刻蚀过程中造成的黑边片或者硅片刻蚀量不够。
本实用新型所采用的技术方案是:太阳能电池链式设备滚轮装置,其特征在于:滚轮安装在刻蚀槽体中,硅片下表面与滚轮接触,刻蚀槽体里刻蚀液的液位在竖直方向上低于硅片下表面1-1.5mm,滚轮表面有宽度为3mm深度为2.2mm的U型螺旋槽。
作为一种优选方式:U型螺旋槽为多个正反螺纹槽交错而成,正螺纹槽与反螺纹槽长度相等,正螺纹槽的长度大于1/2硅片长度小于2/3硅片长度,硅片放置在正螺纹槽与反螺纹槽交错中心的部分。
本实用新型的有益效果是:将太阳能电池链式设备两、三阶滚轮装置更换为表面为螺纹状的滚轮装置,硅片在滚轮上运行更加平稳,提高了设备运行稳定性,降低了设备故障率,大大减少了由于滚轮运行不稳带来的工艺问题以及降低了不合格电池片产品数量,提升了电池片产品合格率。
附图说明
图1是本实用新型结构示意图;
图2是图1中滚轮的A位置放大示意图;
图3是正反螺纹槽交错示意图。
其中,1、滚轮,2、硅片,3、刻蚀槽体,4、反螺纹,5、正螺纹,6、硅片放置位置。
具体实施方式
如图1-3所示,刻蚀工艺的原理是硅片下表面单面与化学品(刻蚀液)接触进行反应,化学品药液的液位高度略低于硅片下表面,药液通过滚轮螺纹的最高点与硅片下表面接触,再通过药液本身的张力从而吸附到硅片的整个下表面;硅片在运行的过程中其整个下表面与滚轮的螺纹的最高点接触,每一个最高点之间有3mm的缝隙,由于U型螺旋槽为多个正反螺纹槽交错而成,正螺纹槽与反螺纹槽长度相等,正螺纹槽的长度大于1/2硅片长度小于2/3硅片长度,硅片放置在正螺纹槽与反螺纹槽交错中心的部分。利于化学品流动,使硅片背面刻蚀更均匀,这样避免了由于滚轮只有两三个凸起而导致硅片运行过程不稳定,从而消除各种工艺问题以及不合格产品的产生。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造