[实用新型]利用偏振CO2激光干涉加工镜片防雾结构的装置

摘要

本申请涉及一种利用偏振CO2激光干涉加工镜片防雾结构的装置，其包括CO2激光器、机械快门、起偏器、分光镜、反射镜，待加工镜片，吸光器，起偏器为与入射光轴呈布儒斯特角放置的锗片，可将入射的圆偏振态的CO2激光分解起偏为线偏振的反射光和透射光，吸光器对透射光进行吸收，分光镜对反射光进行分光，分光后的反射光经反射镜分别反射后，会聚到待加工镜片表面重合并干涉，得到干涉激光条纹加工出的周期性平行沟槽的微纳防雾结构。实现了效果良好的镜片防雾微结构的激光加工；相比于现有的镀膜防雾技术，在耐久性、低成本、使用方便等方面具有明显优势。

主权项

一种利用偏振CO2激光干涉加工镜片防雾结构的装置，其包括CO2激光器(1)、机械快门(2)、起偏器(3)、分光镜(4)、反射镜(5、6)，待加工镜片(7)，吸光器(9)，其特征在于起偏器(3)为与入射光轴呈布儒斯特角放置的锗片，可将入射的圆偏振态的CO2激光分解起偏为线偏振的反射光和透射光，吸光器(9)对透射光进行吸收，分光镜(4)对反射光进行分光，分光后的反射光经反射镜(5、6)分别反射后，会聚到待加工镜片表面重合并干涉，得到干涉激光条纹加工出的周期性平行沟槽的微纳防雾结构。