[实用新型]利用偏振CO2激光干涉加工镜片防雾结构的装置

权利要求书

1.一种利用偏振CO₂激光干涉加工镜片防雾结构的装置，其包括CO₂激光器(1)、机械快门(2)、起偏器(3)、分光镜(4)、反射镜(5、6)，待加工镜片(7)，吸光器(9)，其特征在于起偏器(3)为与入射光轴呈布儒斯特角放置的锗片，可将入射的圆偏振态的CO₂激光分解起偏为线偏振的反射光和透射光，吸光器(9)对透射光进行吸收，分光镜(4)对反射光进行分光，分光后的反射光经反射镜(5、6)分别反射后，会聚到待加工镜片表面重合并干涉，得到干涉激光条纹加工出的周期性平行沟槽的微纳防雾结构。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于：所述起偏器(3)的布儒斯特角为75.9°，其有效直径为Φ25mm，厚度为2mm。

3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于：采用一级以上分光镜(4)和反射镜(5、6)对反射光进行反射，实现1分2、2分4、或4分8的分光。

4.根据权利要求1所述的装置，其特征在于：还包括指引光激光器(8)，采用人眼可见的激光作为指示光，经分光镜(4)反射和透射后与CO₂激光同轴，起指引作用，辅助CO₂激光加工和光路调整。

5.根据权利要求1所述的装置，其特征在于：沟槽间距可通过改变反射镜(5、6)的角度与位置进行调整，反射镜(5、6)安装可调支架上，便于移动和角度调整。

6.根据权利要求5所述的装置，其特征在于：所述吸光器(9)由金属外壳和耐火吸收材料内芯制成，内芯将吸收的透射光转变为热能，通过金属外壳散发出去。

7.根据前述权利要求任一项所述的装置，其特征在于：所述激光器输出波长为10.6μm，位于远红外波段，可被镜片材料吸收，实现汽化和切割，所述镜片为树脂镜片或可被红外激光加工的镜片。