[实用新型]一种芯片截面显微观察辅助装置

摘要

本实用新型公开了一种芯片截面显微观察辅助装置，包括基座和粘附搁条，基座上设有台阶状的搁条放置槽，搁条放置槽具有倾斜的搁条支承面。本实用新型可使粘附搁条以符合观察角度要求的倾角稳定放置在搁条放置槽中，使芯片截面样品稳定保持符合观察角度要求的放置姿态，从而可以更准确地进行各种芯片的沉积刻蚀质量的截面观察。使用本实用新型进行显微观察时，将芯片截面样品放置到搁条放置槽中就可直接将芯片截面样品一步调整到符合要求的观察角度，并稳定保持，无需反复调整，从而提高检测效率，而且将芯片截面样品放置到搁条放置槽后即可放手，无需多头兼顾而只需专注于仪器操作，从而大大降低工作强度。

主权项

一种芯片截面显微观察辅助装置，其特征是包括基座（1）和粘附搁条（2），基座（1）上设有台阶状的搁条放置槽（3），搁条放置槽（3）具有倾斜的搁条支承面（4）。