[实用新型]一种芯片截面显微观察辅助装置有效

专利信息
申请号: 201720407870.X 申请日: 2017-04-18
公开(公告)号: CN206804533U 公开(公告)日: 2017-12-26
发明(设计)人: 汪沈炎;诸晓燕 申请(专利权)人: 浙江富春江光电科技有限公司
主分类号: G01N21/84 分类号: G01N21/84;G01N21/01
代理公司: 杭州杭诚专利事务所有限公司33109 代理人: 尉伟敏
地址: 311400 浙江省杭*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 芯片 截面 显微 观察 辅助 装置
【权利要求书】:

1.一种芯片截面显微观察辅助装置,其特征是包括基座(1)和粘附搁条(2),基座(1)上设有台阶状的搁条放置槽(3),搁条放置槽(3)具有倾斜的搁条支承面(4)。

2.根据权利要求1所述的芯片截面显微观察辅助装置,其特征是搁条放置槽(3)位于基座(1)的正面和背面。

3.根据权利要求1所述的芯片截面显微观察辅助装置,其特征是基座(1)的正面和背面均设有多道搁条放置槽(3),且各搁条放置槽(3)的搁条支承面(4)倾角各异。

4.根据权利要求1或2或3所述的芯片截面显微观察辅助装置,其特征是粘附搁条(2)的样品固定面上固设有橡胶带(5),橡胶带(5)与粘附搁条(2)的样品固定面长、宽尺寸相同。

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