[实用新型]一种芯片截面显微观察辅助装置有效
申请号: | 201720407870.X | 申请日: | 2017-04-18 |
公开(公告)号: | CN206804533U | 公开(公告)日: | 2017-12-26 |
发明(设计)人: | 汪沈炎;诸晓燕 | 申请(专利权)人: | 浙江富春江光电科技有限公司 |
主分类号: | G01N21/84 | 分类号: | G01N21/84;G01N21/01 |
代理公司: | 杭州杭诚专利事务所有限公司33109 | 代理人: | 尉伟敏 |
地址: | 311400 浙江省杭*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 芯片 截面 显微 观察 辅助 装置 | ||
1.一种芯片截面显微观察辅助装置,其特征是包括基座(1)和粘附搁条(2),基座(1)上设有台阶状的搁条放置槽(3),搁条放置槽(3)具有倾斜的搁条支承面(4)。
2.根据权利要求1所述的芯片截面显微观察辅助装置,其特征是搁条放置槽(3)位于基座(1)的正面和背面。
3.根据权利要求1所述的芯片截面显微观察辅助装置,其特征是基座(1)的正面和背面均设有多道搁条放置槽(3),且各搁条放置槽(3)的搁条支承面(4)倾角各异。
4.根据权利要求1或2或3所述的芯片截面显微观察辅助装置,其特征是粘附搁条(2)的样品固定面上固设有橡胶带(5),橡胶带(5)与粘附搁条(2)的样品固定面长、宽尺寸相同。
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