[实用新型]一种具有放电预警反馈功能的真空等离子腔体有效
| 申请号： | 201720341543.9 | 申请日： | 2017-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN206993470U | 公开（公告）日： | 2018-02-09 |
| 发明（设计）人： | 郭峰;国际瑞;刘善石;牛峰 | 申请（专利权）人： | 昆山普乐斯电子科技有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/24 | 分类号： | H05H1/24;B08B7/00 |
| 代理公司： | 南京纵横知识产权代理有限公司32224 | 代理人： | 董建林 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种具有放电预警反馈功能的真空等离子腔体，包括真空箱体，在真空箱体内部的水平或垂直方向上平行的设置多层电极板，相邻的两层电极板极性相反；在相邻的两层电极板之间的真空箱体的侧壁上开有通孔，在真空箱体的外侧壁上安装有与通孔相连通的密封连装置，导光棒穿过密封连接装置；导光棒一端位于真空箱体内，一端位于真空箱体外并与光控开关上的光敏电阻相连，本实用新型能随时监控两层电极之间等离子放电状态是否正常，当两层电极之间出现不放电或放电弱的情况时，光控开关可输出开关信号到PLC，实现设备自动报警，防止无效处理产品的产生，保证产品处理效果，操作简单，降低不良率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 放电 预警 反馈 功能 真空 等离子 | ||
【主权项】：
一种具有放电预警反馈功能的真空等离子腔体，其特征在于：包括真空箱体（1），在真空箱体（1）内部的水平或垂直方向上平行的设置多层电极板（2），相邻的两层电极板（2）极性相反；在相邻的两层电极板（2）之间的真空箱体（1）的侧壁上开有通孔，在真空箱体（1）的外侧壁上安装有与通孔相连通的密封连接装置（5），导光棒（3）穿过密封连接装置（5）；导光棒（3）一端位于真空箱体（1）内，一端位于真空箱体（1）外并与光控开关（6）上的光敏电阻（4）相连。
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