[实用新型]一种具有放电预警反馈功能的真空等离子腔体

权利要求书

1.一种具有放电预警反馈功能的真空等离子腔体，其特征在于：包括真空箱体（1），在真空箱体（1）内部的水平或垂直方向上平行的设置多层电极板（2），相邻的两层电极板（2）极性相反；在相邻的两层电极板（2）之间的真空箱体（1）的侧壁上开有通孔，在真空箱体（1）的外侧壁上安装有与通孔相连通的密封连接装置（5），导光棒（3）穿过密封连接装置（5）；导光棒（3）一端位于真空箱体（1）内，一端位于真空箱体（1）外并与光控开关（6）上的光敏电阻（4）相连。

2.根据权利要求1所述的一种具有放电预警反馈功能的真空等离子腔体，其特征在于：所述导光棒（3）为石英材质。

3.根据权利要求1所述的一种具有放电预警反馈功能的真空等离子腔体，其特征在于：所述光控开关（6）的输出端口与总信号输出接头（8）连接。

4.根据权利要求1所述的一种具有放电预警反馈功能的真空等离子腔体，其特征在于：所述电极板（2）采用铝制电极板。

5.根据权利要求1所述的一种具有放电预警反馈功能的真空等离子腔体，其特征在于：在真空箱体（1）外部设有保护罩（7）将光控开关（6）、密封连装置（5）、导光棒（3）以及光控开关（6）上的光敏电阻（4）均罩在内。

6.根据权利要求1所述的一种具有放电预警反馈功能的真空等离子腔体，其特征在于：所述真空箱体（1）为铝制。