[实用新型]一种具有放电预警反馈功能的真空等离子腔体

说明书

技术领域

本实用新型属于光电等离子清洗技术领域，尤其涉及一种具有放电预警反馈功能的真空等离子腔体。

背景技术

目前，业界常见的真空等离子清洗机采用的电极为多层，水平式，两层相邻电极之间没有任何放电监测手段，这种结构的电极在处理类似于手机摄像模组(CCM)、电路板(PCB/FPC)、IC载板(IC substrate)等其它产品时，如不能及时发现放电状态是否正常，则会导致无效处理产品的产生，无法保证产品处理效果的一致性，增加不良率。

实用新型内容

针对现有的平行电极之间没有放电检测手段，容易出现废品的不足，本实用新型提供一种具有放电预警反馈功能的真空等离子腔体，随时监控两层电极之间等离子放电状态是否正常，当两层电极之间出现不放电或放电弱的情况时，控制模块可输出报警信号，实现设备自动报警，防止无效处理产品的产生，保证产品处理效果，操作简单，降低不良率。

本实用新型的上述技术问题主要是通过下述技术方案得以解决的：

本实用新型的一种具有放电预警反馈功能的真空等离子腔体，包括真空箱体，在真空箱体内部的水平或垂直方向上平行的设置多层电极板，相邻的两层电极板极性相反；在相邻的两层电极板之间的真空箱体的侧壁上开有通孔，在真空箱体的外侧壁上安装有与通孔相连通的密封连接装置，导光棒穿过密封连接装置；导光棒一端位于真空箱体内，一端位于真空箱体外并与光控开关上的光敏电阻相连。

进一步的，所述导光棒为石英材质。

进一步的，所述控制模块的输出端口与总信号输出接头连接。

进一步的，所述电极板采用铝制电极板。

进一步的，在真空箱体外部设有保护罩将光控开关、密封连接装置、导光棒以及光控开关上的光敏电阻均罩在内。

进一步的，所述真空箱体为铝制。

本实用新型的有益效果是：能随时监控两层电极之间等离子放电状态是否正常，当两层电极之间出现不放电或放电弱的情况时，光控开关可输出开关信号到PLC，实现设备自动报警，防止无效处理产品的产生，保证产品处理效果，操作简单，降低不良率。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型的放电预警反馈模组安装示意图；

图3为本实用新型中的放电预警反馈模组结构示意图。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型的优选实施例进行详细阐述，以使本实用新型的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解，从而对本实用新型的保护范围做出更为清楚明确的界定

如图1至图3所示，一种具有放电预警反馈功能的真空等离子腔体，包括铝制真空箱体1，在真空箱体1内部的水平或垂直方向上平行的设置多层铝制电极板2，相邻的两层电极板2的极性相反，即一层作为阴极，另一层作为阳极；在对应(相邻)的每两层铝制电极板2中间的铝箱壁上开通孔，在真空箱体1外侧壁上安装有与通孔相连的密封连接装置5，导光棒3(导光棒可以采用石英或其他导光材料)穿过密封连接装置5，该密封连接装置5为定制的接头，为套筒状，套筒的内设有密封垫，石英导光棒3穿过密封垫与接头紧密配合，保证了真空箱体1的密封效果；石英导光棒3一端位于真空箱体1内，另一端伸出真空箱体1外部，该端与光控开关6上的光敏电阻4相连，光控开关6将光信号转换为开关信号输出，光控开关6的输出信号由总信号输出接头8连接至相对应的PLC反馈信号点，由光控开关6、密封连接装置5以及导光棒组成的放电预警反馈模组被一个保护罩7整体保护起来。

使用的时候，当两层电极2之间出现不放电或放电弱的情况时，辉光通过石英导光棒3把变化的光信号传给光敏电阻器4，当光信号不正常时(即真空箱体1内的放电非常弱或者不放电时)可通过光控开关6将开关信号输出到PLC，实现设备自动报警，提醒生产人员，防止无效处理产品的产生，保证产品处理效果，操作简单，降低不良率。

以上所述，仅为本实用新型的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何不经过创造性劳动想到的变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应该以权利要求书所限定的保护范围为准。