[实用新型]一种用于取放石墨盘的取料爪有效
| 申请号： | 201720307529.7 | 申请日： | 2017-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN206541810U | 公开（公告）日： | 2017-10-03 |
| 发明（设计）人： | 向军 | 申请（专利权）人： | 江苏新智达新能源设备有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L21/687 |
| 代理公司： | 常州市权航专利代理有限公司32280 | 代理人： | 袁兴隆 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市滨湖区隐*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供了一种用于取放石墨盘的取料爪，包括底板，所述底板的下表面设置有取料气缸，所述取料气缸的壳体固定在所述底板上，所述取料气缸的活塞杆末端设置有用于卡扣石墨盘外周的卡板，所述取料气缸的活塞杆水平并且沿石墨盘的长度或者宽度方向设置，当所述取料气缸的活塞杆伸出时石墨盘能够放置在所述卡板的内侧，当所述取料气缸的活塞杆缩回时卡板能够卡紧所述石墨盘的外周，通过压缩空气驱动的取料气缸控制卡板来取放石墨盘，取放灵活不需要操作人员额外配合，取放过程动作迅速且卡板与石墨盘贴合紧密，取料爪抓取可靠，不易造成对石墨盘外表的损伤。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 石墨 取料爪 | ||
【主权项】：
一种用于取放石墨盘的取料爪，其特征在于：包括底板（1），所述底板（1）的下表面设置有取料气缸（2），所述取料气缸（2）的壳体固定在所述底板（1）上，所述取料气缸（2）的活塞杆末端设置有用于卡扣石墨盘外周的卡板（3），所述取料气缸（2）的活塞杆水平并且沿石墨盘的长度或者宽度方向设置，当所述取料气缸（2）的活塞杆伸出时石墨盘能够放置在所述卡板（3）的内侧，当所述取料气缸（2）的活塞杆缩回时卡板（3）能够卡紧所述石墨盘的外周。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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