[实用新型]一种用于真空镀膜的探头组件有效
| 申请号： | 201720282834.5 | 申请日： | 2017-03-22 |
| 公开（公告）号： | CN206583429U | 公开（公告）日： | 2017-10-24 |
| 发明（设计）人： | 王伟;卢成 | 申请（专利权）人： | 成都国泰真空设备有限公司 |
| 主分类号： | G01B21/08 | 分类号： | G01B21/08;C23C14/54 |
| 代理公司： | 成都科奥专利事务所(普通合伙)51101 | 代理人： | 李志清 |
| 地址： | 610000 四川省成都市温江*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于真空镀膜的探头组件，包括调节支架、底座、探头和线缆，调节支架上设有安装有两根滑竿，调节支架可在滑竿上下移动，滑竿底部与底座连接，底座上安装有探头，探头与底座连接处设有陶瓷密封圈，探头内部设有晶振片，晶振片与线缆连接，线缆穿过底座和调节支架。本实用新型通过陶瓷密封圈提高了探头的密封性，陶瓷密封圈具有耐高温的特点，因此陶瓷密封圈相比传统的密封圈能延长探头内部晶振片的使用寿命，调节支架上的锁定螺母可调节底座与调节支架之间的距离，使本实用新型的适用范围更广。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 真空镀膜 探头 组件 | ||
【主权项】：
一种用于真空镀膜的探头组件，其特征在于：包括调节支架、底座、探头和线缆，调节支架上设有安装有两根滑竿，调节支架可在滑竿上下移动，滑竿底部与底座连接，底座上安装有探头，探头与底座连接处设有陶瓷密封圈，探头内部设有晶振片，晶振片与线缆连接，线缆穿过底座和调节支架。
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