[实用新型]清洗装置及机械研磨设备有效
| 申请号： | 201720257511.0 | 申请日： | 2017-03-16 |
| 公开（公告）号： | CN206567987U | 公开（公告）日： | 2017-10-20 |
| 发明（设计）人： | 邱云光;吴端毅;冯庆安;张连伯;汪志宇 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（天津）有限公司;中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/34 | 分类号： | B24B37/34;B24B41/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 | 代理人： | 屈蘅,李时云 |
| 地址： | 300385 天*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种清洗装置及机械研磨设备，所述清洗装置用于对机械研磨设备中研磨台的侧壁进行清洗，所述清洗装置包括至少一个清洗刷头；与所述清洗刷头连接的连接组件；驱动所述连接组件移动的驱动装置。即，在清洗过程中，通过所述驱动装置使清洗刷头与研磨台的侧壁接触，进而实现自动化清洗的目的，有效提高了清洗效率，并可及时去除研磨台侧壁上的研磨残留物，避免在研磨台的侧壁上产生大量的堆积物。 | ||
| 搜索关键词： | 清洗 装置 机械 研磨 设备 | ||
【主权项】：
一种清洗装置，其特征在于，所述清洗装置用于对机械研磨设备中研磨台的侧壁进行清洗，所述清洗装置包括：至少一个用于与所述研磨台的侧壁接触的清洗刷头；用于控制所述清洗刷头移动的连接组件，所述连接组件的一端连接所述清洗刷头；以及，用驱动所述连接组件移动驱动装置，所述驱动装置连接所述连接组件的另一端。
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