[实用新型]清洗装置及机械研磨设备

权利要求书

1.一种清洗装置，其特征在于，所述清洗装置用于对机械研磨设备中研磨台的侧壁进行清洗，所述清洗装置包括：

至少一个用于与所述研磨台的侧壁接触的清洗刷头；

用于控制所述清洗刷头移动的连接组件，所述连接组件的一端连接所述清洗刷头；以及，

用驱动所述连接组件移动驱动装置，所述驱动装置连接所述连接组件的另一端。

2.如权利要求1所述的清洗装置，其特征在于，所述清洗刷头为可旋转刷头。

3.如权利要求2所述的清洗装置，其特征在于，所述研磨台为圆柱形结构并沿所述圆柱形结构的轴线方向旋转，所述清洗刷头的旋转方向与所述研磨台的旋转方向相反。

4.如权利要求2所述的清洗装置，其特征在于，当所述研磨台的侧壁和所述清洗刷头接触时，所述研磨台侧壁的移动带动所述清洗刷头旋转。

5.如权利要求1所述的清洗装置，其特征在于，所述清洗刷头内还设置有一第一喷嘴，所述第一喷嘴与一清洗液供给装置连通。

6.如权利要求1所述的清洗装置，其特征在于，所述连接组件包括第一连接杆和至少一个第二连接杆；所述第一连接杆与所述驱动装置连接，所述驱动装置带动所述第一连接杆沿特定方向移动；所述第二连接杆的一端与清洗刷头连接，所述第二连接杆的另一端与所述第一连接杆连接，所述第二连接杆沿着以第一连接杆和第二连接杆的连接点为圆心的弧线方向移动。

7.如权利要求1所述的清洗装置，其特征在于，所述清洗装置还包括一底座，所述驱动装置安装于所述底座上。

8.如权利要求7所述的清洗装置，其特征在于，所述底座为条状的中空结构，在所述底座的长度方向的侧壁上开设有一开口，所述驱动装置安装于所述中空结构内，所述连接组件通过所述开口延伸出来。

9.如权利要求7所述的清洗装置，其特征在于，所述底座上还设置有至少一个第二喷嘴，所述第二喷嘴与一清洗液供给装置连通。

10.一种机械研磨设备，其特征在于，包括：如权利要求1～9中之一所述的清洗装置；以及，至少一个研磨台。

11.如权利要求10所述的机械研磨设备，其特征在于，所述机械研磨设备包括两个研磨台，所述清洗装置包括两个清洗刷头。

12.如权利要求11所述的机械研磨设备，其特征在于，所述清洗装置位于两个所述研磨台之间。

13.如权利要求10所述的机械研磨设备，其特征在于，所述研磨台为圆柱形结构并绕所述圆柱形结构的轴线方向旋转。

14.如权利要求13所述的机械研磨设备，其特征在于，所述研磨台的旋转速度为8rpm/min～15rpm/min。