[实用新型]可拆卸式晶圆传送盘

摘要

本实用新型涉及可拆卸式晶圆传送盘，包括晶圆工作盘和两个支撑板，所述晶圆工作盘包括矩形卡槽板和平行安装板,所述矩形卡槽板下部的两端分别布设有长方形的边翼，矩形卡槽板上部的一端活动式连接有平行安装板，晶圆工作盘通过边翼连接在两个支撑板之间，所述支撑板的上平面固定有第一固定板，支撑板由下至上的五分之四处套合有第二固定板，边翼固定于第一固定板和第二固定板预留的间隙之间；所述第一固定板的上平面铰接有第一盖板，支撑板的平面上开设有“T”字形的滑槽，滑槽内布设两个固定环组件，支撑板的底部分别连接至底板槽，两个底板槽之间通过支撑管进行连接。本实用新型拆卸方便，易于处理，有效的节约材料、节省成本。

主权项

可拆卸式晶圆传送盘，其特征在于，包括晶圆工作盘和两个支撑板，所述晶圆工作盘包括矩形卡槽板和平行安装板, 所述矩形卡槽板呈“U”字形，矩形卡槽板下部的两端分别布设有长方形的边翼，矩形卡槽板上部的一端活动式连接有平行安装板，所述平行安装板呈“n”字形，晶圆工作盘通过边翼连接在两个支撑板之间，所述支撑板的上平面固定有第一固定板，支撑板由下至上的五分之四处套合有第二固定板，所述第一固定板呈长方体形，所述第二固定板呈“回”字形，第一固定板位于第二固定板的上部，第一固定板和第二固定板之间预留有间隙，所述边翼固定于第一固定板和第二固定板预留的间隙之间；所述第一固定板的上平面铰接有第一盖板，所述第一盖板呈“n”字形；支撑板的平面上开设有“T”字形的滑槽，所述滑槽的横截面呈“凸”字形；滑槽内布设两个固定环组件，所述固定环组件包括滑轮和卡扣，所述滑轮的竖截面呈“工”字形，滑轮的上部转动式连接卡扣，所述卡扣为一端折弯的板，第二固定板通过卡扣固定在支撑板上；支撑板的底部分别连接至底板槽，所述底板槽呈“凹”字形，两个底板槽之间通过支撑管进行连接。