[实用新型]一种阵列基板、显示面板以及电子设备

摘要

本实用新型公开了一种阵列基板、显示面板以及电子设备，阵列基板包括透明基板；设置在透明基板上的多个阵列排布的像素单元，像素单元包括薄膜晶体管，薄膜晶体管包括栅极、源极、漏极以及有源区；同一行像素单元中，相邻薄膜晶体管的有源区之间具有第一绝缘氧化结构，第一绝缘氧化结构由与有源区同层的半导体层氧化制成。本实用新型通过隔离氧化的方法图案化半导体层，形成薄膜晶体管的有源区，可以形成线宽更小的绝缘氧化结构图案化半导体层，且绝缘隔离效果更好，不会出现短路问题。而相对于传统工艺的通过刻蚀方式图案化半导体层，在像素单元密度较大时，相邻像素单元之间的薄膜晶体管容易发生短路问题。

主权项

一种显示面板的阵列基板，其特征在于，包括：透明基板；设置在所述透明基板上的多个阵列排布的像素单元，所述像素单元包括薄膜晶体管，所述薄膜晶体管包括：栅极、源极、漏极以及有源区；其中，同一行所述像素单元中，相邻所述薄膜晶体管的有源区之间具有第一绝缘氧化结构，所述第一绝缘氧化结构由与所述有源区同层的半导体层氧化制成。