[实用新型]一种卡点位置优化的石墨舟有效
申请号: | 201720163541.5 | 申请日: | 2017-02-22 |
公开(公告)号: | CN206505900U | 公开(公告)日: | 2017-09-19 |
发明(设计)人: | 方结彬;何达能;陈刚 | 申请(专利权)人: | 广东爱康太阳能科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673;C23C16/458 |
代理公司: | 广州知友专利商标代理有限公司44104 | 代理人: | 侯莉 |
地址: | 528137 广东省佛*** | 国省代码: | 广东;44 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型公开了一种卡点位置优化的石墨舟,它主要由绝缘棒和在水平方向上排列的单元舟片组成,单元舟片为竖直设置的片状体,相邻单元舟片之间具有间隙,绝缘棒于各单元舟片的周缘贯穿而将全部的单元舟片连接固定在一起,位于两外侧的单元舟片的内外表面上设有凹槽,位于中间的单元舟片上设有通孔,在凹槽和通孔的周边区域中设有用于固定硅片的卡点,凹槽和通孔的口缘形状为正方形四个边角圆弧过渡的形状,主要由顶边、底边和两条侧边组成,卡点为3个且位于凹槽和通孔的周边区域中并分别靠近底边和两条侧边的中心位置。本实用新型可以增加硅片的导电均匀性,从而改善镀膜均匀性,提升太阳能电池的外观合格率和光电转换效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 位置 优化 石墨 | ||
【主权项】:
一种卡点位置优化的石墨舟,其特征在于:它主要由绝缘棒和在水平方向上排列的数个单元舟片组成,所述单元舟片为竖向设置的片状体,相邻的单元舟片之间具有间隙,所述绝缘棒于各单元舟片的周缘贯穿而将全部的单元舟片连接固定在一起,位于两外侧的单元舟片的内外表面上设有若干与硅片形状相同且其尺寸小于硅片尺寸的凹槽,位于每个外侧单元舟片内外表面上的凹槽相对应,在凹槽的槽底面上设有贯通该对应凹槽的用于抽真空的细孔,位于中间的单元舟片上设有若干与硅片形状相同且其尺寸小于硅片尺寸的通孔,在所述凹槽和通孔的周边区域中设有用于固定硅片的卡点,所述凹槽和通孔的口缘形状为正方形四个边角圆弧过渡的形状,主要由顶边、底边和两条侧边组成,所述卡点为3个且位于凹槽和通孔的周边区域中并分别靠近底边和两条侧边的中心位置。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于广东爱康太阳能科技有限公司,未经广东爱康太阳能科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201720163541.5/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:一种计算机主板固定装置
- 下一篇:带反射灯光效果的电脑机箱
- 同类专利
- 专利分类
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造