[实用新型]蒸发源装置及蒸发镀膜设备有效
| 申请号： | 201720135353.1 | 申请日： | 2017-02-15 |
| 公开（公告）号： | CN206438173U | 公开（公告）日： | 2017-08-25 |
| 发明（设计）人： | 李建 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京风雅颂专利代理有限公司11403 | 代理人： | 王安娜,李翔 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种蒸发源装置及蒸发镀膜设备，包括用于蒸发蒸镀材料的加热装置，所述加热装置设置有喷嘴组和角度板，所述喷嘴组包括多个喷嘴，所述角度板位于所述喷嘴组两侧，所述角度板在所述喷嘴组的顶部形成一个蒸发出口。本实用新型将分离式的角度板变为只形成一个蒸发出口的角度板，确保多种材料从同一个蒸发出口蒸镀到玻璃基板上，保证多种材料混合度更加均一，从而保证蒸镀到玻璃基板上的膜层不会因材料蒸发的角度问题出现分层现象，可提高Profile重合性(＞80％)，继而保证了器件具有更高的效率。 | ||
| 搜索关键词： | 蒸发 装置 镀膜 设备 | ||
【主权项】：
一种蒸发源装置，其特征在于，包括用于蒸发蒸镀材料的加热装置，所述加热装置设置有喷嘴组和角度板，所述喷嘴组包括多个喷嘴，所述角度板位于所述喷嘴组两侧，所述角度板在所述喷嘴组的顶部形成一个蒸发出口。
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