[实用新型]蒸发源装置及蒸发镀膜设备有效
| 申请号： | 201720135353.1 | 申请日： | 2017-02-15 |
| 公开（公告）号： | CN206438173U | 公开（公告）日： | 2017-08-25 |
| 发明（设计）人： | 李建 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京风雅颂专利代理有限公司11403 | 代理人： | 王安娜,李翔 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 蒸发 装置 镀膜 设备 | ||
1.一种蒸发源装置，其特征在于，包括用于蒸发蒸镀材料的加热装置，所述加热装置设置有喷嘴组和角度板，所述喷嘴组包括多个喷嘴，所述角度板位于所述喷嘴组两侧，所述角度板在所述喷嘴组的顶部形成一个蒸发出口。
2.根据权利要求1所述的蒸发源装置，其特征在于，所述喷嘴组的四周分别设置有角度板，所述喷嘴组四周的角度板在所述喷嘴组的顶部形成一个蒸发出口。
3.根据权利要求1所述的蒸发源装置，其特征在于，所述角度板设置有用于使所述角度板温度升高的电热元件。
4.根据权利要求3所述的蒸发源装置，其特征在于，所述角度板的内部为中空结构，所述电热元件设置于所述中空结构中。
5.根据权利要求3或4所述的蒸发源装置，其特征在于，所述电热元件选自电热丝、电热合金、微波加热器件、电热板、云母发热器件中的至少一种；和/或
所述角度板朝向所述喷嘴组的一侧为陶瓷板和/或金属板。
6.根据权利要求1所述的蒸发源装置，其特征在于，所述角度板在背离所述喷嘴组的另一侧设置有冷却板。
7.根据权利要求6所述的蒸发源装置，其特征在于，所述冷却板的内部与循环冷却水连通；和/或
所述冷却板的内部填充有冷却剂。
8.根据权利要求1所述的蒸发源装置，其特征在于，所述角度板的开合角度可调。
9.根据权利要求8所述的蒸发源装置，其特征在于，所述角度板的端部与加热装置的外壁铰接，所述角度板的端部能够绕着铰接处转动。
10.一种蒸发镀膜设备，其特征在于，包括权利要求1-9中任意一项所述的蒸发源装置。
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